本页说明
ISO 20579-2:2025《表面化学分析样品处理、制备与装载记录》由国际标准化组织发布，本站将其用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试的方法实施、数据记录和结果表达。
适用对象与条件
- RBS薄膜成分与面密度按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。
- ERDA氢与轻元素深度分布按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。
- NRA核反应元素定量按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。
- 多层膜厚度、组分与界面分析按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。
- 最外原子层元素组成 LEIS按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。
- 表面覆盖度与吸附层分析按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。
- RBS薄膜成分与面密度的标准方法实施
- ERDA氢与轻元素深度分布的标准方法实施
主要要求与方法
ISO 20579-2
ISO 20579-2:2025在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数
取样与样品处理
记录样品状态、仪器型号、测量程序和实际采集参数
质量控制
归档校准核查、原始数据、计算过程和结果表
补充质量控制
按ISO 20579-2:2025整理重复测量、数据处理与报告内容
方法、条件与注意事项
标准概况
ISO 20579-2:2025《表面化学分析样品处理、制备与装载记录》由国际标准化组织发布，本站将其用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试的方法实施、数据记录和结果表达。
技术应用
- RBS薄膜成分与面密度按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。 - ERDA氢与轻元素深度分布按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。 - NRA核反应元素定量按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。 - 多层膜厚度、组分与界面分析按该标准记录样品制备、装载方式、分析面方向和样品架位置。 - 最外原子层元素组成 LEIS按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。 - 表面覆盖度与吸附层分析按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。 - REELS表面带隙测量按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。 - 表面污染、清洗与处理前后对比按该标准记录样品制备、装载方向、分析区域和样品架信息。 - 材料功函数与接触电势差按该标准记录样品制备、装载方向、表面状态和电连接信息。 - 半导体表面电势与均匀性按该标准记录样品制备、装载方向、表面状态和电连接信息。 - 涂层、氧化层与腐蚀电位分布按该标准记录样品制备、装载方向、表面状态和电连接信息。 - 光照与气氛下功函数变化按该标准记录样品制备、装载方向、表面状态和电连接信息。
相关仪器项目
ISO 20579-2:2025关联以下仪器测试项目： - [RBS薄膜成分与面密度](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/rbs-thin-film-composition-and-areal-density) - [ERDA氢与轻元素深度分布](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/erda-hydrogen-and-light-element-depth-profile) - [NRA核反应元素定量](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/nra-nuclear-reaction-element-quantification) - [多层膜厚度、组分与界面分析](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/multilayer-thickness-composition-and-interface-analysis) - [最外原子层元素组成 LEIS](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/outermost-layer-elemental-composition-by-leis) - [表面覆盖度与吸附层分析](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/surface-coverage-and-adsorbate-layer-analysis) - [REELS表面带隙测量](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/reels-surface-band-gap-measurement) - [表面污染、清洗与处理前后对比](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/surface-contamination-and-treatment-comparison) - [材料功函数与接触电势差](/services/instrument-testing/surface-interface/kelvin-probe-and-work-function-measurement/material-work-function-and-contact-potential-difference) - [半导体表面电势与均匀性](/services/instrument-testing/surface-interface/kelvin-probe-and-work-function-measurement/semiconductor-surface-potential-and-uniformity) - [涂层、氧化层与腐蚀电位分布](/services/instrument-testing/surface-interface/kelvin-probe-and-work-function-measurement/coating-oxide-and-corrosion-potential-mapping) - [光照与气氛下功函数变化](/services/instrument-testing/surface-interface/kelvin-probe-and-work-function-measurement/work-function-change-under-light-and-atmosphere)
方法实施与记录
RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试按ISO 20579-2:2025记录样品状态、仪器型号、测量程序、采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。
项目执行内容
在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试相关项目中，ISO 20579-2:2025用于落实其适用的术语、样品要求、仪器条件、测量步骤、数据处理或质量控制条款。项目记录覆盖样品名称、批次、取样位置、前处理状态、仪器型号、附件配置、环境条件、程序参数和重复次数；原始曲线、图谱、图像或数值结果依照样品编号保存，计算表标明数据处理方法、统计口径和单位，技术报告列出实测条件、核心结果、图表和质量控制记录。
样品与项目信息
提供样品名称、材质、型号、批次、数量和取样位置；标明ISO 20579-2:2025对应的待测参数和样品状态；样品编号与前处理记录、测量位置和报告用途逐项对应。
数据与质量控制
ISO 20579-2:2025的原始曲线、图谱、图像或数值结果按样品编号归档；RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试的校准核查、对照样、重复测量和数据处理记录同步进入项目档案。
报告与交付
ISO 20579-2:2025方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试实测结果；样品信息、仪器条件、采集参数和质量控制记录；原始曲线、图谱、图像或数值结果及计算表。
官方来源
国际标准化组织发布了ISO 20579-2:2025《表面化学分析样品处理、制备与装载记录》，[查看官方发布记录](https://www.iso.org/standard/83686.html)。
需要结合哪些资料
- ISO 20579-2:2025对应的代表性样品和指定测量位置；RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试对应的批次样品和对照样
参考依据与来源
结果怎样使用
- ISO 20579-2:2025方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试实测结果
- 样品信息、仪器条件、采集参数和质量控制记录
- 原始曲线、图谱、图像或数值结果及计算表
使用结果时需要结合的事项
- RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试的方法实施记录；表面化学分析样品处理、制备与装载记录对应的研发与质量控制；ISO 20579-2:2025项目的批次比较
标准使用常见问题
01ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录包括哪些检测内容？
ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录的主要内容包括ISO 20579-2:2025在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数。 ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录需要提供哪些样品和资料？
送样包括ISO 20579-2:2025对应的代表性样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录采用什么标准和方法？
主要依据为ISO 20579-2:2025，检测方法包括ISO 20579-2:2025在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数。 ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录报告包含哪些内容？
主要交付ISO 20579-2:2025方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 ISO 20579-2:2025 表面化学分析样品处理、制备与装载记录报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等12项仪器测试的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。