检测范围
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样：以双束FIB/SEM定位微区，沉积保护层、切割提取并减薄为电子透明TEM薄片。通过目标区定位和微操作提取获得目标区定位、微操作提取和保护层沉积的联合结果，用于缺陷定位、跨仪器复核和完整数据归档。
目标区定位
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，目标区定位按以下内容记录：把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把目标区定位结果与微操作提取按样品、测点和程序节点排列。
对象与条件
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样采用的技术原理为：以双束FIB/SEM定位微区，沉积保护层、切割提取并减薄为电子透明TEM薄片。把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区，切断、焊接并转移薄片至TEM载网。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样适用样品包括金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品。按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号；利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置，测区和方向与目标区定位数据对应。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的主要测量内容包括目标区定位、微操作提取和保护层沉积；沟槽切割、分级减薄与低能清理补充过程、空间或质量信息。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样围绕定点截面与数据交付，按照统一的样品状态、测量程序和数据处理参数建立对照。覆盖目标表面，保留界面和缺陷结构，结果可归纳位置、批次和工况变化。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样交付定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态。原始文件、测量条件、处理参数和结果图表使用同一试样编号。
需要注意的限制
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果制样报告记录表面或结构变化，数据处理保留模型假设和参数；原始文件、采集条件及代表性取样信息随结果归档。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果对应实际收到的样品、采用的FIB定点取样与TEM制样条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样方案设计：依据样品方向、目标坐标、保护层、离子束能流、微操作焊接、薄片尺寸、厚度和低能清理设计目标区定位与保护层沉积的测量组合；2. 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品制备：利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置，并为沟槽切割标记试样方向、测区和对照位置；3. 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样系统检查：检查定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区，建立目标区定位的设备状态与质量控制记录；4. 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样程序执行：执行把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区；随后完成覆盖目标表面，保留界面和缺陷结构和形成薄片轮廓并控制截面深度；5. 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样数据复核：复核原始数据、处理参数和重复测量，整理定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样：样品状态
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的样品状态控制包括金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品按批次、方向、位置和处理历史编号；利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置。把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区；该项记录与目标区定位原始数据、处理参数和结果图表使用相同样品编号。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样：设备条件
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的设备条件控制包括定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区写入设备条件表，并与原始文件使用相同样品编号。切断、焊接并转移薄片至TEM载网；该项记录与微操作提取原始数据、处理参数和结果图表使用相同样品编号。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样：数据处理
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的数据处理控制包括切断、焊接并转移薄片至TEM载网，处理前后文件、参数和结果分别保存。覆盖目标表面，保留界面和缺陷结构；该项记录与保护层沉积原始数据、处理参数和结果图表使用相同样品编号。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样：结果复核
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的结果复核控制包括逐步降低厚度和束流，获得电子透明区；降低Ga损伤、非晶层和表面再沉积，用于检查测点与组间差异。形成薄片轮廓并控制截面深度；该项记录与沟槽切割原始数据、处理参数和结果图表使用相同样品编号。
适用产品与样品
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样采用的技术原理为：以双束FIB/SEM定位微区，沉积保护层、切割提取并减薄为电子透明TEM薄片。把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区，切断、焊接并转移薄片至TEM载网。
- 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样适用样品包括金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品。按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号；利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置，测区和方向与目标区定位数据对应。
- 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的主要测量内容包括目标区定位、微操作提取和保护层沉积；沟槽切割、分级减薄与低能清理补充过程、空间或质量信息。
- 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样围绕定点截面与数据交付，按照统一的样品状态、测量程序和数据处理参数建立对照。覆盖目标表面，保留界面和缺陷结构，结果可归纳位置、批次和工况变化。
- 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样交付定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态。原始文件、测量条件、处理参数和结果图表使用同一试样编号。
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品范围：金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品。样品名称、批次、数量、状态和目标位置分别登记。
- 02
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样实施以下内容：利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置。目标区定位与微操作提取测区使用清晰的位置或方向标记。
- 03
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样把样品方向、目标坐标、保护层、离子束能流、微操作焊接、薄片尺寸、厚度和低能清理写入样品与程序清单；按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号。
- 04
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样对照样围绕定点截面与数据交付的批次、位置或处理状态设置，平行样采用相同制备和测量条件。
- 05
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品处理中，逐步降低厚度和束流，获得电子透明区。相关环境、转移、保存或前处理时间写入记录，便于解释分级减薄差异。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品范围：金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品。样品名称、批次、数量、状态和目标位置分别登记。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样实施以下内容：利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置。目标区定位与微操作提取测区使用清晰的位置或方向标记。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样把样品方向、目标坐标、保护层、离子束能流、微操作焊接、薄片尺寸、厚度和低能清理写入样品与程序清单；按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样对照样围绕定点截面与数据交付的批次、位置或处理状态设置，平行样采用相同制备和测量条件。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品处理中，逐步降低厚度和束流，获得电子透明区。相关环境、转移、保存或前处理时间写入记录，便于解释分级减薄差异。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样技术报告列出定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态，并说明目标区定位和微操作提取的测量条件与结果。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的目标区定位交付原始信号、处理后数据、计算表和结果图；把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样的微操作提取按样品与测点提供单次值、统计值或图谱，切断、焊接并转移薄片至TEM载网。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样条件表记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区，并附设备状态、质量控制及异常数据复核信息。 精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样数据包收录原始文件、通用格式、图片、处理参数和文件目录，可用于后续复算及跨方法对照。
检测项目
目标区定位
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，目标区定位按以下内容记录：把外观、SEM或电学坐标转换到FIB工作区。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把目标区定位结果与微操作提取按样品、测点和程序节点排列。
微操作提取
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，微操作提取按以下内容记录：切断、焊接并转移薄片至TEM载网。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把微操作提取结果与保护层沉积按样品、测点和程序节点排列。
保护层沉积
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，保护层沉积按以下内容记录：覆盖目标表面，保留界面和缺陷结构。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把保护层沉积结果与沟槽切割按样品、测点和程序节点排列。
沟槽切割
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，沟槽切割按以下内容记录：形成薄片轮廓并控制截面深度。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把沟槽切割结果与分级减薄按样品、测点和程序节点排列。
分级减薄
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，分级减薄按以下内容记录：逐步降低厚度和束流，获得电子透明区。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把分级减薄结果与低能清理按样品、测点和程序节点排列。
低能清理
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样中，低能清理按以下内容记录：降低Ga损伤、非晶层和表面再沉积。数据表同步记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区中的相关参数，并把低能清理结果与目标区定位按样品、测点和程序节点排列。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 2 项
谱图检索和未知物判断应保留采集条件、峰表、候选匹配与人工复核过程，不能只交付一个软件给出的名称。
NIST Chemistry WebBook公开提供质谱、红外、紫外可见及色谱保留等经整理的参考数据，可用于谱图与物性信息核对。
NIST Chemistry WebBook报告和检测数据
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果制样报告记录表面或结构变化，数据处理保留模型假设和参数；原始文件、采集条件及代表性取样信息随结果归档。
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果对应实际收到的样品、采用的FIB定点取样与TEM制样条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01精密截面、定点与数据交FIB定点测哪些数据？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样测量目标区定位、微操作提取、保护层沉积，并分析沟槽切割、分级减薄、低能清理。报告同时提供定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态。
02精密截面、定点与数据交FIB定点适用什么样品？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样适用于金属、陶瓷、半导体、电池、涂层、颗粒、孔隙界面及具有明确缺陷位置的样品。按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号；利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置，样品批次、状态、方向和目标位置分别编号。
03精密截面、定点与数据交FIB定点怎样准备样品？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样样品按以下步骤制备：利用表面图、显微或失效定位坐标确定目标，选择截面方向并设计保护层和载网位置。按目标坐标、层级、截面方向和后续分析方法建立编号，并保留制样或装样记录。
04精密截面、定点与数据交FIB定点记录哪些条件？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样记录定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区。这些字段与目标区定位原始文件、微操作提取处理结果和报告图表逐一对应。
05精密截面、定点与数据交FIB定点怎样设置对照？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样围绕定点截面与数据交付的批次、位置、处理或程序节点设置对照。各组使用相同制样、设备和处理参数，直接比较保护层沉积与沟槽切割。
06精密截面、定点与数据交FIB定点怎样检查重复性？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样对目标区定位安排同条件平行测量，并核对微操作提取响应。报告列出单次值、平均结果和离散统计，同时保留设备与样品状态。
07精密截面、定点与数据交FIB定点报告包含什么？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样报告包含定位证据图、制样过程图、薄片方向与尺寸、束流参数、TEM载网编号和交付状态，附定位误差、束流漂移、帘幕、再沉积、非晶层、薄片弯曲、焊点和电子透明区及质量控制记录；原始数据、处理文件和高清图表归入同一数据包。
08精密截面、定点与数据交FIB定点结果怎样使用？
精密截面、定点与数据交付FIB定点取样与TEM制样结果说明：围绕定点截面与数据交付建立的微操作提取与分级减薄结果可用于缺陷定位、跨仪器复核和完整数据归档。各组采用相同测量和处理参数，结果具有直接可比性。