检测范围
ERDA氢与轻元素深度分布利用离子与材料的弹性散射、反冲或核反应能谱，无损或低损伤测量薄膜成分、面密度和轻元素分布，用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集；整组样品保持统一采集和处理口径，报告包含ERDA轻元素分布与NRA选择性定量的图表和参数。
ERDA轻元素分布
检测反冲粒子能谱，获得氢及其他轻元素的含量与深度变化，ERDA轻元素分布支撑元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，离子束分析 RBS/ERDA/NRA采用离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照条件为ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
对象与条件
ERDA轻元素分布：检测反冲粒子能谱，获得氢及其他轻元素的含量与深度变化，样品分组依据为ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA轻元素分布用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，结果获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。 原始资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布数据表用任务号串联ERDA轻元素分布、NRA选择性定量及原始文件，NRA选择性定量：选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。 离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片，基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺写入ERDA轻元素分布任务记录，工作面坐标、方向和批次随数据保存，测量结果用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。 ERDA氢与轻元素深度分布结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，ERDA轻元素分布测区安排：ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA氢与轻元素深度分布的位置图标注ERDA轻元素分布测区、方向和编号，数据用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。 对照样按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置，结果采用元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合进行分析，ERDA轻元素分布与NRA选择性定量执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型。
需要注意的限制
ERDA氢与轻元素深度分布结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认 ERDA氢与轻元素深度分布结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。 ERDA氢与轻元素深度分布结果对应实际收到的样品、采用的离子束分析 RBS/ERDA/NRA条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 建立膜基层序、元素清单和离子分析方案，任务档案保存原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布登记膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，分组信息采用基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺；2. 制样状态对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA氢与轻元素深度分布样品保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，ERDA轻元素分布保留制样状态，使用参考样检查能量刻度、探测几何与束流积分；3. 按固定入射与散射条件采集目标能谱，ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，采集数据用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，采集位置按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置；4. ERDA轻元素分布和NRA选择性定量按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺记录，对照组采用ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，复核记录关联原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，结合阻止本领和核反应截面完成谱图模拟；5. 交付原始谱、拟合曲线、层结构与定量参数，ERDA氢与轻元素深度分布报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，ERDA轻元素分布和NRA选择性定量结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺汇总，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数随任务号归档
深度分辨
数据按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，ERDA氢与轻元素深度分布执行深度分辨控制，ERDA轻元素分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较，离子能量展宽、探测器分辨和材料阻止本领共同决定层厚与界面分辨。
轻重元素互补
RBS擅长中重元素，ERDA与NRA补充氢和特定轻元素，结果采用相同层序表达，ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺形成NRA选择性定量对照，各组执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照关系采用ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
拟合约束
ERDA氢与轻元素深度分布的拟合约束记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围与原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，原始资料保存为原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，基底组成、层密度和已知厚度作为谱图模型输入，拟合残差与参数区间同步输出。
束流剂量
聚合物、氢化膜和电池材料使用分散照射，前后短谱用于检查离子束诱导变化，报告说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，ERDA轻元素分布和NRA选择性定量写入原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，用途为元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合。
适用产品与样品
ERDA氢与轻元素深度分布适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- ERDA轻元素分布：检测反冲粒子能谱，获得氢及其他轻元素的含量与深度变化，样品分组依据为ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA轻元素分布用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，结果获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。
- 原始资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布数据表用任务号串联ERDA轻元素分布、NRA选择性定量及原始文件，NRA选择性定量：选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。
- 离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片，基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺写入ERDA轻元素分布任务记录，工作面坐标、方向和批次随数据保存，测量结果用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。
- ERDA氢与轻元素深度分布结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，ERDA轻元素分布测区安排：ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA氢与轻元素深度分布的位置图标注ERDA轻元素分布测区、方向和编号，数据用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集。
- 对照样按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置，结果采用元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合进行分析，ERDA轻元素分布与NRA选择性定量执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型。
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，ERDA氢与轻元素深度分布登记基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA轻元素分布作为主数据项，离子束分析 RBS/ERDA/NRA接收表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片。
- 02
ERDA氢与轻元素深度分布保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，ERDA轻元素分布数据保存ERDA氢与轻元素深度分布的装样方向和表面状态，测区位置按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，ERDA氢与轻元素深度分布制样状态与ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺逐组对应。
- 03
NRA选择性定量数据连同原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归档，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，ERDA氢与轻元素深度分布随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围。
- 04
比较样包括ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，样品按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，ERDA轻元素分布与NRA选择性定量按照离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型测量。
- 05
复核资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布结果服务于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量保留独立原始数据。
样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，ERDA氢与轻元素深度分布登记基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，ERDA轻元素分布作为主数据项，离子束分析 RBS/ERDA/NRA接收表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片。 ERDA氢与轻元素深度分布保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，ERDA轻元素分布数据保存ERDA氢与轻元素深度分布的装样方向和表面状态，测区位置按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，ERDA氢与轻元素深度分布制样状态与ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺逐组对应。 NRA选择性定量数据连同原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归档，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，ERDA氢与轻元素深度分布随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围。 比较样包括ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，样品按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，ERDA轻元素分布与NRA选择性定量按照离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型测量。 复核资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布结果服务于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量保留独立原始数据。
ERDA氢与轻元素深度分布技术报告列出ERDA轻元素分布、NRA选择性定量和样品间差异，报告用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，结论说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合所反映的状态变化。 文件按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归入ERDA氢与轻元素深度分布任务档案，ERDA氢与轻元素深度分布数据附件包括原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布。 ERDA轻元素分布保留原始响应和处理参数，NRA选择性定量单列数据表，统计字段采用基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，对照关系采用ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。 方法记录列明离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，复核资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA氢与轻元素深度分布条件表记录基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。 对照图按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编排，图表说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数对应ERDA轻元素分布和NRA选择性定量的原始记录。
检测项目
ERDA轻元素分布
检测反冲粒子能谱，获得氢及其他轻元素的含量与深度变化，ERDA轻元素分布支撑元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，离子束分析 RBS/ERDA/NRA采用离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照条件为ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
NRA选择性定量
多层膜拟合写入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，NRA选择性定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较样品差异，结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。
多层膜拟合
按基底和各膜层建立组分厚度模型，联合拟合台阶、边缘与谱宽，样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，多层膜拟合用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，ERDA氢与轻元素深度分布保留ERDA氢与轻元素深度分布的位置图、方向与区域编号。
界面与扩散
前处理保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，通量与损伤监测由原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布呈现，界面与扩散给出元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，依据谱边展宽和层间组分渐变描述界面粗糙、互扩散与混合层。
通量与损伤监测
记录束流积分和分区重复谱，检查辐照前后信号稳定性，通量与损伤监测反映ERDA氢与轻元素深度分布的测量状态，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数支持结果复核，交付文件包括原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布。
RBS元素面密度
离子束分析 RBS/ERDA/NRA记录基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，RBS元素面密度与ERDA轻元素分布共同解释ERDA氢与轻元素深度分布，原始资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，由背散射粒子能量和产额拟合中重元素含量、面密度及层序。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 3 项
报告和检测数据
ERDA氢与轻元素深度分布结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认
ERDA氢与轻元素深度分布结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。
ERDA氢与轻元素深度分布结果对应实际收到的样品、采用的离子束分析 RBS/ERDA/NRA条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01ERDA氢与轻元素深度分布结果图怎样呈现？
报告用于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，ERDA轻元素分布呈现核心量值，NRA选择性定量展示样品差异，ERDA氢与轻元素深度分布报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布。
02ERDA氢与轻元素深度分布适用样品形态是什么？
离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片，ERDA氢与轻元素深度分布按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺登记批次与状态，随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围。
03ERDA氢与轻元素深度分布送样资料需要记录什么？
ERDA氢与轻元素深度分布测量记录逐一列明膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围以及离子束分析 RBS/ERDA/NRA的工作面、测区编号和测量方向，ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，离子束分析 RBS/ERDA/NRA制样保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照。
04ERDA氢与轻元素深度分布比较样需要哪些？
参照样和目标样按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编组，对照数据用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，ERDA轻元素分布和NRA选择性定量执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型。
05ERDA氢与轻元素深度分布测点数量如何安排？
原始资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，NRA选择性定量按样品编号和基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺进入计算表，ERDA氢与轻元素深度分布按中心、边缘和异常位置组织测区，位置记录对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
06ERDA氢与轻元素深度分布测量质量看什么？
离子束分析 RBS/ERDA/NRA检查ERDA轻元素分布的独立重复和NRA选择性定量原始响应，质量记录列明离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布。
07ERDA氢与轻元素深度分布结果文件有哪些？
ERDA轻元素分布原始数据、NRA选择性定量处理参数和原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数按编号关联，交付内容服务于获得氢和轻元素从表面到基体的含量曲线，观察扩散、脱氢和界面富集，ERDA氢与轻元素深度分布交付原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布。
08ERDA氢与轻元素深度分布如何支持批次评价？
ERDA氢与轻元素深度分布结果用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，样品差异按ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺解释，ERDA氢与轻元素深度分布沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较批次或状态。