检测范围
NRA核反应元素定量利用离子与材料的弹性散射、反冲或核反应能谱，无损或低损伤测量薄膜成分、面密度和轻元素分布，用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果；结果可直接比较批次与工艺差异，报告包含NRA选择性定量与多层膜拟合的图表和参数。
NRA选择性定量
离子束分析 RBS/ERDA/NRA采用离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，NRA选择性定量支撑元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，对照条件为NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。
对象与条件
样品分组依据为NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，结果利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，NRA选择性定量：选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。 多层膜拟合：按基底和各膜层建立组分厚度模型，联合拟合台阶、边缘与谱宽，NRA选择性定量和多层膜拟合共用NRA核反应元素定量样品编码，处理参数分别保存，原始资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。 NRA选择性定量按测区编号归档，位置图列出工作面、测量方向以及基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，测量结果用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片。 NRA选择性定量测区安排：在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，NRA核反应元素定量的位置图标注NRA选择性定量测区、方向和编号，数据用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，NRA核反应元素定量结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组。 结果采用元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合进行分析，NRA选择性定量与多层膜拟合执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照样按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置。
需要注意的限制
NRA核反应元素定量结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认 NRA核反应元素定量结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。 NRA核反应元素定量结果对应实际收到的样品、采用的离子束分析 RBS/ERDA/NRA条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 任务档案保存原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，NRA核反应元素定量登记膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，分组信息采用基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，建立膜基层序、元素清单和离子分析方案；2. 使用参考样检查能量刻度、探测几何与束流积分，NRA核反应元素定量样品保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，NRA选择性定量保留制样状态，制样状态对应基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺；3. 在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，采集数据用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，采集位置按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置，按固定入射与散射条件采集目标能谱；4. 结合阻止本领和核反应截面完成谱图模拟，复核记录关联原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，NRA选择性定量和多层膜拟合按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺记录，对照组采用NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺；5. NRA核反应元素定量报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，NRA选择性定量和多层膜拟合结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺汇总，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数随任务号归档，交付原始谱、拟合曲线、层结构与定量参数
深度分辨
离子能量展宽、探测器分辨和材料阻止本领共同决定层厚与界面分辨，NRA核反应元素定量执行深度分辨控制，NRA选择性定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较，数据按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组。
轻重元素互补
NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺形成多层膜拟合对照，各组执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照关系采用NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，RBS擅长中重元素，ERDA与NRA补充氢和特定轻元素，结果采用相同层序表达。
拟合约束
基底组成、层密度和已知厚度作为谱图模型输入，拟合残差与参数区间同步输出，原始资料保存为原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，NRA核反应元素定量的拟合约束记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围与原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
束流剂量
报告说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，NRA选择性定量和多层膜拟合写入原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，用途为元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，聚合物、氢化膜和电池材料使用分散照射，前后短谱用于检查离子束诱导变化。
适用产品与样品
NRA核反应元素定量适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 样品分组依据为NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，结果利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，NRA选择性定量：选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。
- 多层膜拟合：按基底和各膜层建立组分厚度模型，联合拟合台阶、边缘与谱宽，NRA选择性定量和多层膜拟合共用NRA核反应元素定量样品编码，处理参数分别保存，原始资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
- NRA选择性定量按测区编号归档，位置图列出工作面、测量方向以及基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，测量结果用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片。
- NRA选择性定量测区安排：在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，NRA核反应元素定量的位置图标注NRA选择性定量测区、方向和编号，数据用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，NRA核反应元素定量结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组。
- 结果采用元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合进行分析，NRA选择性定量与多层膜拟合执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，对照样按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺设置。
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
离子束分析 RBS/ERDA/NRA接收表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片，NRA核反应元素定量登记基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量作为主数据项，样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围。
- 02
NRA选择性定量数据保存NRA核反应元素定量的装样方向和表面状态，测区位置按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，NRA核反应元素定量制样状态与NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺逐组对应，NRA核反应元素定量保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照。
- 03
NRA核反应元素定量随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，多层膜拟合数据连同原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归档。
- 04
样品按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，NRA选择性定量与多层膜拟合按照离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型测量，比较样包括NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
- 05
在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，多层膜拟合保留独立原始数据，NRA核反应元素定量结果服务于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，复核资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
离子束分析 RBS/ERDA/NRA接收表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片，NRA核反应元素定量登记基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量作为主数据项，样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围。 NRA选择性定量数据保存NRA核反应元素定量的装样方向和表面状态，测区位置按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，NRA核反应元素定量制样状态与NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺逐组对应，NRA核反应元素定量保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照。 NRA核反应元素定量随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，多层膜拟合数据连同原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归档。 样品按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编号，NRA选择性定量与多层膜拟合按照离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型测量，比较样包括NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。 在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，多层膜拟合保留独立原始数据，NRA核反应元素定量结果服务于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，复核资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
报告用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，结论说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合所反映的状态变化，NRA核反应元素定量技术报告列出NRA选择性定量、多层膜拟合和样品间差异。 NRA核反应元素定量数据附件包括原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数归入NRA核反应元素定量任务档案，文件按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组。 多层膜拟合单列数据表，统计字段采用基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，对照关系采用NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，NRA选择性定量保留原始响应和处理参数。 NRA核反应元素定量条件表记录基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，复核资料包括原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，方法记录列明离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型。 图表说明元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数对应NRA选择性定量和多层膜拟合的原始记录，对照图按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编排。
检测项目
NRA选择性定量
离子束分析 RBS/ERDA/NRA采用离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，NRA选择性定量支撑元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，对照条件为NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺，选择具有元素选择性的核反应通道，定量特定同位素或轻元素。
多层膜拟合
按基底和各膜层建立组分厚度模型，联合拟合台阶、边缘与谱宽，结果按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺分组，多层膜拟合沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较样品差异，界面与扩散写入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
界面与扩散
样品记录包含膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，NRA核反应元素定量保留NRA核反应元素定量的位置图、方向与区域编号，界面与扩散用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，依据谱边展宽和层间组分渐变描述界面粗糙、互扩散与混合层。
通量与损伤监测
记录束流积分和分区重复谱，检查辐照前后信号稳定性，通量与损伤监测给出元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，RBS元素面密度由原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布呈现，前处理保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照。
RBS元素面密度
原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数支持结果复核，RBS元素面密度反映NRA核反应元素定量的测量状态，交付文件包括原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，由背散射粒子能量和产额拟合中重元素含量、面密度及层序。
ERDA轻元素分布
检测反冲粒子能谱，获得氢及其他轻元素的含量与深度变化，原始资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数，ERDA轻元素分布与NRA选择性定量共同解释NRA核反应元素定量，离子束分析 RBS/ERDA/NRA记录基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 3 项
报告和检测数据
NRA核反应元素定量结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认
NRA核反应元素定量结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。
NRA核反应元素定量结果对应实际收到的样品、采用的离子束分析 RBS/ERDA/NRA条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01NRA核反应元素定量可以量化哪些参数？
NRA核反应元素定量报告提供原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，NRA选择性定量呈现核心量值，多层膜拟合展示样品差异，报告用于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果。
02NRA核反应元素定量送样类型有哪些？
NRA核反应元素定量按基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺登记批次与状态，随样资料包括膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围，离子束分析 RBS/ERDA/NRA适用于表面平整、基底组成清楚的薄膜、镀层、注入层、氢化材料或多层见证片。
03NRA核反应元素定量制样时怎样标记？
离子束分析 RBS/ERDA/NRA制样保持分析面洁净并牢固导电固定，标记层序、离子入射面和样品方位，准备裸基底对照，在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，复测NRA核反应元素定量时可从原始文件查到膜层元素、基底组成、标称厚度、密度、沉积或注入条件、关注轻元素和深度范围以及离子束分析 RBS/ERDA/NRA的工作面、测区编号和测量方向。
04NRA核反应元素定量工艺前后怎样对比？
对照数据用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合，NRA选择性定量和多层膜拟合执行离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，参照样和目标样按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺编组。
05NRA核反应元素定量哪些位置需要测？
在NRA核反应元素定量工作面选取主体区与差异区，坐标图保留测量方向和区域编号，多层膜拟合按样品编号和基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺进入计算表，原始资料归入原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数。
06NRA核反应元素定量参数一致性怎样保持？
质量记录列明离子种类与能量、散射角、探测几何、束流剂量、阻止本领数据库和谱图拟合模型，结果文件包含原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，离子束分析 RBS/ERDA/NRA检查NRA选择性定量的独立重复和多层膜拟合原始响应。
07NRA核反应元素定量报告附件包含什么？
NRA核反应元素定量交付原始能谱、模拟拟合、元素面密度、原子比、层厚、界面宽度以及氢或轻元素深度分布，交付内容服务于利用选定核反应通道定量目标元素或同位素，形成具有深度坐标的组成结果，NRA选择性定量原始数据、多层膜拟合处理参数和原始能谱、束流积分、模拟模型和层结构参数按编号关联。
08NRA核反应元素定量结果可用于哪些判断？
样品差异按NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺解释，NRA核反应元素定量沿基底组成、膜层结构、离子通道和注入工艺比较批次或状态，NRA核反应元素定量结果用于元素面密度、轻元素分布和多层膜拟合。