本页说明
ISO 18115-1:2023《Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy》由国际标准化组织发布，本站将其用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试的方法实施、数据记录和结果表达。
适用对象与条件
- RBS薄膜成分与面密度采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。
- ERDA氢与轻元素深度分布采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。
- NRA核反应元素定量采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。
- 多层膜厚度、组分与界面分析采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。
- 最外原子层元素组成 LEIS采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。
- 表面覆盖度与吸附层分析采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。
- RBS薄膜成分与面密度的标准方法实施
- ERDA氢与轻元素深度分布的标准方法实施
主要要求与方法
ISO 18115-1
ISO 18115-1:2023在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数
取样与样品处理
记录样品状态、仪器型号、测量程序和实际采集参数
质量控制
归档校准核查、原始数据、计算过程和结果表
补充质量控制
按ISO 18115-1:2023整理重复测量、数据处理与报告内容
方法、条件与注意事项
标准概况
ISO 18115-1:2023《Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy》由国际标准化组织发布，本站将其用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试的方法实施、数据记录和结果表达。
技术应用
- RBS薄膜成分与面密度采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。 - ERDA氢与轻元素深度分布采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。 - NRA核反应元素定量采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。 - 多层膜厚度、组分与界面分析采用该标准统一RBS、ERDA或NRA相关的表面分析术语和结果名称。 - 最外原子层元素组成 LEIS采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。 - 表面覆盖度与吸附层分析采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。 - REELS表面带隙测量采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。 - 表面污染、清洗与处理前后对比采用该标准统一离子散射与电子能量损失分析的术语和谱图名称。
相关仪器项目
ISO 18115-1:2023关联以下仪器测试项目： - [RBS薄膜成分与面密度](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/rbs-thin-film-composition-and-areal-density) - [ERDA氢与轻元素深度分布](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/erda-hydrogen-and-light-element-depth-profile) - [NRA核反应元素定量](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/nra-nuclear-reaction-element-quantification) - [多层膜厚度、组分与界面分析](/services/instrument-testing/surface-interface/ion-beam-analysis-by-rbs-erda-and-nra/multilayer-thickness-composition-and-interface-analysis) - [最外原子层元素组成 LEIS](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/outermost-layer-elemental-composition-by-leis) - [表面覆盖度与吸附层分析](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/surface-coverage-and-adsorbate-layer-analysis) - [REELS表面带隙测量](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/reels-surface-band-gap-measurement) - [表面污染、清洗与处理前后对比](/services/instrument-testing/surface-interface/leis-iss-and-reels-surface-analysis/surface-contamination-and-treatment-comparison)
方法实施与记录
RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试按ISO 18115-1:2023记录样品状态、仪器型号、测量程序、采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。
项目执行内容
在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试相关项目中，ISO 18115-1:2023用于落实其适用的术语、样品要求、仪器条件、测量步骤、数据处理或质量控制条款。项目记录覆盖样品名称、批次、取样位置、前处理状态、仪器型号、附件配置、环境条件、程序参数和重复次数；原始曲线、图谱、图像或数值结果依照样品编号保存，计算表标明数据处理方法、统计口径和单位，技术报告列出实测条件、核心结果、图表和质量控制记录。
样品与项目信息
提供样品名称、材质、型号、批次、数量和取样位置；标明ISO 18115-1:2023对应的待测参数和样品状态；样品编号与前处理记录、测量位置和报告用途逐项对应。
数据与质量控制
ISO 18115-1:2023的原始曲线、图谱、图像或数值结果按样品编号归档；RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试的校准核查、对照样、重复测量和数据处理记录同步进入项目档案。
报告与交付
ISO 18115-1:2023方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试实测结果；样品信息、仪器条件、采集参数和质量控制记录；原始曲线、图谱、图像或数值结果及计算表。
官方来源
国际标准化组织发布了ISO 18115-1:2023《Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy》，[查看官方发布记录](https://www.iso.org/standard/74811.html)。
需要结合哪些资料
- ISO 18115-1:2023对应的代表性样品和指定测量位置；RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试对应的批次样品和对照样
参考依据与来源
ISO 18115-1:2023《Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy》由国际标准化组织发布。
标准编号：ISO 18115-1:2023；标准名称：Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy；发布机构：国际标准化组织。
国际标准化组织结果怎样使用
- ISO 18115-1:2023方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试实测结果
- 样品信息、仪器条件、采集参数和质量控制记录
- 原始曲线、图谱、图像或数值结果及计算表
使用结果时需要结合的事项
- RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试的方法实施记录；Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy对应的研发与质量控制；ISO 18115-1:2023项目的批次比较
标准使用常见问题
01ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy包括哪些检测内容？
ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy的主要内容包括ISO 18115-1:2023在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数。 ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy需要提供哪些样品和资料？
送样包括ISO 18115-1:2023对应的代表性样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy采用什么标准和方法？
主要依据为ISO 18115-1:2023，检测方法包括ISO 18115-1:2023在RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试中落实标准规定的测量步骤与技术参数。 ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy报告包含哪些内容？
主要交付ISO 18115-1:2023方法实施信息与RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 ISO 18115-1:2023 Surface chemical analysis — Vocabulary — Part 1: General terms and terms used in spectroscopy报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于RBS薄膜成分与面密度、ERDA氢与轻元素深度分布、NRA核反应元素定量、多层膜厚度、组分与界面分析等8项仪器测试的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。