检测范围
观察材料表面、截面、断口和颗粒形貌，并使用 EDS 对指定微区开展元素点分析、线扫描和面分布分析。
SE 二次电子成像
突出表面起伏和精细形貌
对象与条件
表面、截面、断口、颗粒和涂层微观形貌 异物、夹杂、腐蚀产物及失效位置的微区元素分析 颗粒、孔洞、纤维、层厚和相区的图像与尺寸研究
需要注意的限制
EDS 提供微区元素信息；分子结构与完整配方采用光谱、色谱和质谱等方法组合分析。粗糙度、镀层、谱峰重叠和作用体积纳入定量校正。 扫描电镜与能谱 SEM/EDS的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、SE 二次电子成像与BSE 背散射成像的方法要求，以及“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”对应的制样、校准和仪器条件确定。 扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的标准目录列明标准版本、适用对象、SE 二次电子成像的方法条件及SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果的报告内容。
适用产品与样品
扫描电镜与能谱 SEM/EDS适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 表面、截面、断口、颗粒和涂层微观形貌
- 异物、夹杂、腐蚀产物及失效位置的微区元素分析
- 颗粒、孔洞、纤维、层厚和相区的图像与尺寸研究
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求
- 02
不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式
- 03
含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件
粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求 不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式 含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件
扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件 SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果 SE 二次电子成像与BSE 背散射成像对应的数据表、图谱、曲线、图像或可导出的原始数据 扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的主要结果、异常信号及可比性条件说明 扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的方法名称、标准编号和关键检测条件
检测项目
SE 二次电子成像
突出表面起伏和精细形貌
BSE 背散射成像
观察与平均原子序数和取向相关的衬度
EDS 点扫与区域分析
获得指定位置或区域的元素信息
EDS 线扫与 Mapping
展示元素沿路径或视野内的分布
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
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报告和检测数据
EDS 提供微区元素信息；分子结构与完整配方采用光谱、色谱和质谱等方法组合分析。粗糙度、镀层、谱峰重叠和作用体积纳入定量校正。
扫描电镜与能谱 SEM/EDS的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、SE 二次电子成像与BSE 背散射成像的方法要求，以及“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”对应的制样、校准和仪器条件确定。
扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的标准目录列明标准版本、适用对象、SE 二次电子成像的方法条件及SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果的报告内容。
常见问题
01不导电样品怎样进行 SEM/EDS 测试？
采用喷金、喷碳、低真空或环境模式减少荷电和图像漂移，并按照成像与元素分析目标选择制样方式。
02扫描电镜与能谱 SEM/EDS需要多少样品？
样品量按照样品形态、均匀性、制样损耗和测试模块配置。送样要求包括：粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求；不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式；含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件。
03扫描电镜与能谱 SEM/EDS怎样评价整批样品？
扫描电镜与能谱 SEM/EDS围绕SE 二次电子成像与BSE 背散射成像设置代表性取样、平行样、多位置或多批次测试；样品准备满足“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”，报告对应记录取样位置与批次信息。
04扫描电镜与能谱 SEM/EDS报告提供哪些结果？
扫描电镜与能谱 SEM/EDS报告列明SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果，并为SE 二次电子成像与BSE 背散射成像记录执行标准、仪器条件、质量控制、图谱或曲线及实测数据。