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仪器分析

原子力显微镜 AFM

Atomic Force Microscopy (AFM)

使用探针扫描表面获得纳米级三维形貌、粗糙度及局部力学、电学或其他功能信息。

检测内容
轻敲或接触模式形貌 · 粗糙度与台阶
适用对象
薄膜、涂层、晶圆、二维材料和聚合物表面形貌 · 纳米级粗糙度、台阶高度和颗粒尺寸
方法标准
ISO 11952:2019 · ISO 11039:2012
报告交付
原子力显微镜 AFM检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件 · 二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件
确认检测需求登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
检查检测过程记录检测条件并审核原始数据
出具报告交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

使用探针扫描表面获得纳米级三维形貌、粗糙度及局部力学、电学或其他功能信息。

01项目内容

轻敲或接触模式形貌

获得表面三维高度和形貌图

02适用情况

对象与条件

薄膜、涂层、晶圆、二维材料和聚合物表面形貌 纳米级粗糙度、台阶高度和颗粒尺寸 力曲线、相位、电势或导电等扩展模式研究

03结果解释

需要注意的限制

AFM 数据处理中记录探针形状、反馈参数、扫描范围,并校正卷积和成像伪影。 原子力显微镜 AFM的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶的方法要求,以及“样品表面平整、清洁并可靠固定”对应的制样、校准和仪器条件确定。 原子力显微镜 AFM采用的标准目录列明标准版本、适用对象、轻敲或接触模式形貌的方法条件及二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件的报告内容。

02

适用产品与样品

原子力显微镜 AFM适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品和常见问题

  • 薄膜、涂层、晶圆、二维材料和聚合物表面形貌
  • 纳米级粗糙度、台阶高度和颗粒尺寸
  • 力曲线、相位、电势或导电等扩展模式研究
03

送样前需要准备什么

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    样品表面平整、清洁并可靠固定

  2. 02

    尺寸和高度适配扫描器与样品台

  3. 03

    软、黏、湿、易污染或环境敏感样品采用对应模式和气氛

准备资料样品和资料要求

样品表面平整、清洁并可靠固定 尺寸和高度适配扫描器与样品台 软、黏、湿、易污染或环境敏感样品采用对应模式和气氛

项目结果本页列出的结果内容

原子力显微镜 AFM检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件 二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件 轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶对应的数据表、图谱、曲线、图像或可导出的原始数据 原子力显微镜 AFM检测的主要结果、异常信号及可比性条件说明 原子力显微镜 AFM采用的方法名称、标准编号和关键检测条件

04

检测项目

01

轻敲或接触模式形貌

获得表面三维高度和形貌图

02

粗糙度与台阶

按选定区域和滤波规则计算参数

03

相位与力学映射

比较局部材料或黏弹性差异

04

电学与功能模式

按探针和样品条件开展电势或导电分析

05

检测方法和流程

受理前需要确认什么受理前需确认对象、样品状态、方法适用性和实施条件;具体检测范围、进度与报告要求以双方确认的方案为准。
06

检测标准和方法

以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定,需结合对象、条件和委托要求确认。

7 项标准,另有 1 项方法说明共列出 8 项,默认展示前 6 项。

当前显示 6 项,共 8 项

ISO 11952:2019国际标准扫描探针显微镜几何量测量系统校准复审确认
ISO 11039:2012国际标准扫描探针显微镜漂移速率测量复审确认
ISO 11775:2015国际标准扫描探针显微镜悬臂法向弹簧常数测定复审确认
ISO 13095:2014国际标准AFM 纳米结构测量用探针杆部轮廓原位表征已发布(复审中)
ISO 21222:2020国际标准用 AFM 两点 JKR 法测定柔顺材料弹性模量已发布(复审中)
07

报告和检测数据

原子力显微镜 AFM检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件
二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件
轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶对应的数据表、图谱、曲线、图像或可导出的原始数据
原子力显微镜 AFM检测的主要结果、异常信号及可比性条件说明
原子力显微镜 AFM采用的方法名称、标准编号和关键检测条件
常见报告用途
表面、截面和断口观察缺陷、颗粒与微区成分分析工艺与失效原因对比研发、验收与质量控制
检测结果说明

AFM 数据处理中记录探针形状、反馈参数、扫描范围,并校正卷积和成像伪影。

原子力显微镜 AFM的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶的方法要求,以及“样品表面平整、清洁并可靠固定”对应的制样、校准和仪器条件确定。

原子力显微镜 AFM采用的标准目录列明标准版本、适用对象、轻敲或接触模式形貌的方法条件及二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件的报告内容。

08

常见问题

01AFM 颗粒尺寸怎样计算?

颗粒高度直接由表面形貌获得,横向尺寸结合探针半径进行卷积校正。

02原子力显微镜 AFM需要多少样品?

样品量按照样品形态、均匀性、制样损耗和测试模块配置。送样要求包括:样品表面平整、清洁并可靠固定;尺寸和高度适配扫描器与样品台;软、黏、湿、易污染或环境敏感样品采用对应模式和气氛。

03原子力显微镜 AFM怎样评价整批样品?

原子力显微镜 AFM围绕轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶设置代表性取样、平行样、多位置或多批次测试;样品准备满足“样品表面平整、清洁并可靠固定”,报告对应记录取样位置与批次信息。

04原子力显微镜 AFM报告提供哪些结果?

原子力显微镜 AFM报告列明二维与三维 AFM 图、粗糙度或台阶参数及扫描条件,并为轻敲或接触模式形貌与粗糙度与台阶记录执行标准、仪器条件、质量控制、图谱或曲线及实测数据。