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仪器分析

扫描电镜与能谱 SEM/EDS

Scanning Electron Microscopy with EDS (SEM/EDS)

观察材料表面、截面、断口和颗粒形貌,并使用 EDS 对指定微区开展元素点分析、线扫描和面分布分析。

检测内容
SE 二次电子成像 · BSE 背散射成像
适用对象
表面、截面、断口、颗粒和涂层微观形貌 · 异物、夹杂、腐蚀产物及失效位置的微区元素分析
方法标准
GB/T 17359—2023 · ISO 22309:2011
报告交付
扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件 · SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果
确认检测需求登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
检查检测过程记录检测条件并审核原始数据
出具报告交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

观察材料表面、截面、断口和颗粒形貌,并使用 EDS 对指定微区开展元素点分析、线扫描和面分布分析。

01项目内容

SE 二次电子成像

突出表面起伏和精细形貌

02适用情况

对象与条件

表面、截面、断口、颗粒和涂层微观形貌 异物、夹杂、腐蚀产物及失效位置的微区元素分析 颗粒、孔洞、纤维、层厚和相区的图像与尺寸研究

03结果解释

需要注意的限制

EDS 提供微区元素信息;分子结构与完整配方采用光谱、色谱和质谱等方法组合分析。粗糙度、镀层、谱峰重叠和作用体积纳入定量校正。 扫描电镜与能谱 SEM/EDS的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、SE 二次电子成像与BSE 背散射成像的方法要求,以及“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”对应的制样、校准和仪器条件确定。 扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的标准目录列明标准版本、适用对象、SE 二次电子成像的方法条件及SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果的报告内容。

02

适用产品与样品

扫描电镜与能谱 SEM/EDS适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品和常见问题

  • 表面、截面、断口、颗粒和涂层微观形貌
  • 异物、夹杂、腐蚀产物及失效位置的微区元素分析
  • 颗粒、孔洞、纤维、层厚和相区的图像与尺寸研究
03

送样前需要准备什么

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求

  2. 02

    不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式

  3. 03

    含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件

准备资料样品和资料要求

粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求 不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式 含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件

项目结果本页列出的结果内容

扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件 SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果 SE 二次电子成像与BSE 背散射成像对应的数据表、图谱、曲线、图像或可导出的原始数据 扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的主要结果、异常信号及可比性条件说明 扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的方法名称、标准编号和关键检测条件

04

检测项目

01

SE 二次电子成像

突出表面起伏和精细形貌

02

BSE 背散射成像

观察与平均原子序数和取向相关的衬度

03

EDS 点扫与区域分析

获得指定位置或区域的元素信息

04

EDS 线扫与 Mapping

展示元素沿路径或视野内的分布

05

检测方法和流程

受理前需要确认什么受理前需确认对象、样品状态、方法适用性和实施条件;具体检测范围、进度与报告要求以双方确认的方案为准。
06

检测标准和方法

以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定,需结合对象、条件和委托要求确认。

14 项标准共列出 14 项,默认展示前 6 项。

当前显示 6 项,共 14 项

GB/T 17359—2023中国标准微束分析 EDS 定量分析现行用于SEM或EPMA配置EDS时,对原子序数不小于11的元素开展点或区域定量分析。
ISO 22309:2011国际标准SEM/EPMA 配套 EDS 定量分析指南现行(已确认)指导使用SEM或EPMA上的EDS进行点或区域定量分析,并说明轻元素分析边界。
ISO 16700:2016国际标准SEM 图像放大倍数校准指南现行使用适当参考材料校准SEM图像放大倍数,不适用于专用关键尺寸SEM。
GB/T 20726—2025中国标准SEM/EPMA 用 EDS 性能参数与核查方法现行用于说明和核查SEM或EPMA所配置能谱仪的关键性能参数,不等同于具体样品的分析方法。
ISO 15632:2021国际标准SEM/EPMA 用 EDS 性能参数与核查方法现行规定能谱仪的重要性能量及核查方法,分析程序本身不在该标准范围内。
ASTM E1508-12a(2019)国外标准EDS 定量分析指南ASTM标示为Active指导使用SEM或EPMA配置EDS开展材料定量分析,说明技术能力与限制。
07

报告和检测数据

扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的样品信息、制样或前处理方式及关键测试条件
SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果
SE 二次电子成像与BSE 背散射成像对应的数据表、图谱、曲线、图像或可导出的原始数据
扫描电镜与能谱 SEM/EDS检测的主要结果、异常信号及可比性条件说明
扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的方法名称、标准编号和关键检测条件
常见报告用途
表面、截面和断口观察缺陷、颗粒与微区成分分析工艺与失效原因对比研发、验收与质量控制
检测结果说明

EDS 提供微区元素信息;分子结构与完整配方采用光谱、色谱和质谱等方法组合分析。粗糙度、镀层、谱峰重叠和作用体积纳入定量校正。

扫描电镜与能谱 SEM/EDS的检出限、定量范围和不确定度根据样品基体、SE 二次电子成像与BSE 背散射成像的方法要求,以及“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”对应的制样、校准和仪器条件确定。

扫描电镜与能谱 SEM/EDS采用的标准目录列明标准版本、适用对象、SE 二次电子成像的方法条件及SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果的报告内容。

08

常见问题

01不导电样品怎样进行 SEM/EDS 测试?

采用喷金、喷碳、低真空或环境模式减少荷电和图像漂移,并按照成像与元素分析目标选择制样方式。

02扫描电镜与能谱 SEM/EDS需要多少样品?

样品量按照样品形态、均匀性、制样损耗和测试模块配置。送样要求包括:粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求;不导电样品采用喷金、喷碳、低真空或环境模式;含水、挥发、易分解、磁性或束流敏感样品采用对应制样和成像条件。

03扫描电镜与能谱 SEM/EDS怎样评价整批样品?

扫描电镜与能谱 SEM/EDS围绕SE 二次电子成像与BSE 背散射成像设置代表性取样、平行样、多位置或多批次测试;样品准备满足“粉末、块体、薄膜和截面满足样品室尺寸与真空要求”,报告对应记录取样位置与批次信息。

04扫描电镜与能谱 SEM/EDS报告提供哪些结果?

扫描电镜与能谱 SEM/EDS报告列明SEM 图像、EDS 谱图、元素表及约定的线扫或 Mapping 结果,并为SE 二次电子成像与BSE 背散射成像记录执行标准、仪器条件、质量控制、图谱或曲线及实测数据。