本页说明
ISO/TS 21383:2021规定了扫描电镜定量测量能力核查的技术内容，官网页面整理适用样品、设备、实施步骤、数据和报告字段，并链接国际标准化组织发布记录。
适用对象与条件
- 扫描电镜定量测量能力核查
- 分辨率、倍率和测量能力核查用参考样
- 按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态
- 保存参考图像、测量值、偏差和核查条件
- 报告设备配置、参考材料、核查项目与结果
- 电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM对应的标准子项
- 催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM对应的标准子项
- 温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM对应的标准子项
主要要求与方法
形貌与缺陷观察
按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态
保存参考图像、测量值、偏差和核查条件
保存参考图像、测量值、偏差和核查条件
结果与交付要求
报告设备配置、参考材料、核查项目与结果
方法、条件与注意事项
标准用途
ISO/TS 21383:2021规定了扫描电镜定量测量能力核查的技术内容，官网页面整理适用样品、设备、实施步骤、数据和报告字段，并链接国际标准化组织发布记录。 扫描电镜定量测量能力核查。
适用项目
- [电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM](/services/instrument-testing/in-situ-advanced/environmental-and-in-situ-sem/environmental-and-in-situ-sem-battery-charge-discharge-processes)：电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM中的对应子项按ISO/TS 21383:2021确认扫描电子显微镜用于定量测量时的分辨能力、倍率和仪器状态。 - [催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM](/services/instrument-testing/in-situ-advanced/environmental-and-in-situ-sem/environmental-and-in-situ-sem-catalytic-and-chemical-reactions)：催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM中的对应子项按ISO/TS 21383:2021确认扫描电子显微镜用于定量测量时的分辨能力、倍率和仪器状态。 - [温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM](/services/instrument-testing/in-situ-advanced/environmental-and-in-situ-sem/environmental-and-in-situ-sem-temperature-stress-and-phase-transitions)：温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM中的对应子项按ISO/TS 21383:2021确认扫描电子显微镜用于定量测量时的分辨能力、倍率和仪器状态。 - [三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM](/services/instrument-testing/in-situ-advanced/environmental-and-in-situ-sem/environmental-and-in-situ-sem-3d-in-situ-and-correlative-methods)：三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM中的对应子项按ISO/TS 21383:2021确认扫描电子显微镜用于定量测量时的分辨能力、倍率和仪器状态。
适用样品
分辨率、倍率和测量能力核查用参考样
设备与配置
扫描电子显微镜、参考材料和图像测量软件
实施步骤
按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态
原始记录
ISO/TS 21383:2021项目记录以样品编号为索引，写明分辨率、倍率和测量能力核查用参考样的名称、批次、状态和测量位置。设备记录列出扫描电子显微镜、参考材料和图像测量软件的主机、附件、程序和工作参数；实施记录按时间顺序保存按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态形成的原始读数、图谱或图像。
数据处理
保存参考图像、测量值、偏差和核查条件
质量控制
扫描电镜定量测量能力核查的数据复核包括设备状态、空白或参考样、重复测量、计算过程和结果单位。ISO/TS 21383:2021对应的原始文件保留处理前数据，处理参数与保存参考图像、测量值、偏差和核查条件产生的表格、曲线或图谱使用同一试样编号，便于复核测点、批次和处理步骤。
报告内容
报告设备配置、参考材料、核查项目与结果
项目应用
ISO/TS 21383:2021在电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM中承担与扫描电镜定量测量能力核查直接相关的技术作用。项目表把标准子项、样品、设备、测量位置和结果字段分别列出；报告将报告设备配置、参考材料、核查项目与结果与原始记录相互对应，用于研发比较、工艺评价和质量数据归档。
官方来源
国际标准化组织发布了ISO/TS 21383:2021《Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements》，[查看官方发布记录](https://www.iso.org/standard/70832.html)。
需要结合哪些资料
- 分辨率、倍率和测量能力核查用参考样；电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM项目使用的代表性试样和质量控制样
参考依据与来源
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 1 项
国际标准化组织发布ISO/TS 21383:2021《Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements》。
标准编号：ISO/TS 21383:2021；标准名称：Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements；发布机构：国际标准化组织。
国际标准化组织结果怎样使用
- 保存参考图像、测量值、偏差和核查条件
- 报告设备配置、参考材料、核查项目与结果
- ISO/TS 21383:2021官方发布记录与关联项目链接
使用结果时需要结合的事项
- 电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM研发与验证；电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM批次或工艺比较；电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM技术报告
标准使用常见问题
01ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements包括哪些检测内容？
ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements的主要内容包括按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态。 ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements需要提供哪些样品和资料？
送样包括分辨率、倍率和测量能力核查用参考样，并按批次、状态和取样位置分别编号。 ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements采用什么标准和方法？
主要依据为ISO/TS 21383:2021，检测方法包括按定量任务核查图像分辨能力、倍率、像素尺度和设备状态。 ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements报告包含哪些内容？
主要交付保存参考图像、测量值、偏差和核查条件，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 ISO/TS 21383:2021 Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于电池充放电过程环境扫描电镜与原位SEM、催化与化学反应过程环境扫描电镜与原位SEM、温度、应力与相变过程环境扫描电镜与原位SEM、三维、原位与多方法联合环境扫描电镜与原位SEM研发与验证，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。