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仪器分析

芯片封装分层与空洞检测

Package Delamination & Void Detection

无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布,其中依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比。强回波与相位反转结合A扫波形和器件层序判读,表面耦合伪影先行排除。

检测内容
分层与空洞 · C扫描成像
适用对象
分层与空洞:依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,结果用于无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布 · C扫描成像:在选定声程门内逐点绘制回波幅度或极性图,展示同一深度界面的缺陷分布,测量位置按以下方式布置:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认
方法标准
GB/T 4937.35-2024 · IEC 60749-35:2006
报告交付
芯片封装分层与空洞检测技术报告及主要结论 · 分层与空洞C扫图、典型A扫波形、B扫截面及面积统计
项目受理登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
过程质控记录检测条件并审核原始数据
报告交付交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

芯片封装分层与空洞检测主要检测分层与空洞、C扫描成像,服务对象包括分层与空洞:依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,结果用于无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布、C扫描成像:在选定声程门内逐点绘制回波幅度或极性图,覆盖来样登记、检测实施和报告交付。

01核心检测项目

分层与空洞

依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,采集区域:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认。

02适用产品与样品

分层与空洞:依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,结果用于无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布

C扫描成像:在选定声程门内逐点绘制回波幅度或极性图,展示同一深度界面的缺陷分布,测量位置按以下方式布置:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认

03委托资料与样品

样品、目标参数和报告用途

样品形式:塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件

04报告与交付内容

芯片封装分层与空洞检测检测报告 + 检测数据与图表

芯片封装分层与空洞检测技术报告及主要结论

技术说明

项目技术要点

实施流程

1. 核对封装层序与目标界面,选择探头频率和声程门;2. 调整水程、焦点、增益并检查正常区回波;3. 采集目标界面的A扫、C扫和必要的B扫;4. 对分层或空洞区域进行门位复扫和面积测量;5. 交付声学图、典型波形、缺陷面积和器件坐标

频率选择

高频提升平面分辨率但穿透能力降低,探头按封装厚度和目标界面深度配置,样品资料:提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标。

闸门设置

每个声程门对应特定界面,门起止位置、检波方式和回波极性随原始波形保存,测量位置:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认。

耦合状态

表面气泡、粗糙度和倾斜会形成假缺陷,扫描前排气并检查正常区回波连续性,对照数据:将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积。

结构解释

金属、硅、塑封料和胶层的声阻抗差异决定回波,异常图与器件层序共同定位,结果解释:强回波与相位反转结合A扫波形和器件层序判读,表面耦合伪影先行排除。

02

适用产品与样品

芯片封装分层与空洞检测适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品与技术问题

  • 分层与空洞:依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,结果用于无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布
  • C扫描成像:在选定声程门内逐点绘制回波幅度或极性图,展示同一深度界面的缺陷分布,测量位置按以下方式布置:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认
  • 检测对象:塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件
  • 测量位置:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认
  • 数据判读:无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布
03

样品与委托资料

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    样品形式:塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件

  2. 02

    制样与装夹:确认声入射面并排除表面气泡,水程和焦点对准目标界面

  3. 03

    随样资料:提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标

  4. 04

    对照样品:将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积

  5. 05

    位置记录:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认

所需样品量样品量与制样要求

样品形式:塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件。样品量包含制样损耗、平行样和留样需求。

检测周期项目周期与交付日期

芯片封装分层与空洞检测列明样品、项目、方法、开始时间与报告交付日期,并同步安排复杂前处理和多模块测试。

报告类型芯片封装分层与空洞检测检测报告 · 检测数据与图表 · 测试条件与质控记录

主要提供芯片封装分层与空洞检测技术报告及主要结论、分层与空洞C扫图、典型A扫波形、B扫截面及面积统计,其他数据和附件在委托单中列明。

实施方式实验室来样检测

收样、制样、测试、数据复核和报告输出由项目负责人统一衔接。

04

检测项目

01

分层与空洞

依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,采集区域:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认。

02

C扫描成像

在选定声程门内逐点绘制回波幅度或极性图,展示同一深度界面的缺陷分布,对照组合:将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积。

03

A扫描波形

保存典型正常点和异常点时域回波,用于判断界面顺序、回波极性及异常深度,样品资料:提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标。

04

B扫描截面

沿目标线生成声学截面,观察分层、空洞或裂纹在厚度方向的位置,数据判读:强回波与相位反转结合A扫波形和器件层序判读,表面耦合伪影先行排除。

05

批次筛查

固定探头频率、闸门和增益对同型号器件成批扫描,形成异常件编号和位置图,应用方向:无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布。

05

检测方法与实施流程

现有设备和检测能力芯片封装分层与空洞检测所需的检测、制样、质量控制和数据分析条件齐备,受理分层与空洞、C扫描成像。
01

检测需求

围绕芯片封装分层与空洞检测列明样品、目标参数、方法标准和报告用途。

02

样品登记

样品形式:塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件

03

完成前处理或制样

根据芯片封装分层与空洞检测和分层与空洞、C扫描成像的测试条件处理样品。

04

完成仪器测试

使用芯片封装分层与空洞检测按规定参数完成分层与空洞、C扫描成像和过程质量控制。

05

复核检测数据

重点检查分层与空洞、C扫描成像对应的图谱、曲线、图像或数据表。

06

交付报告和附件

提供芯片封装分层与空洞检测技术报告及主要结论、分层与空洞C扫图、典型A扫波形、B扫截面及面积统计及约定附件。

06

标准与方法依据

以下列出芯片封装分层与空洞检测采用的正式标准与执行依据,包含标准编号、适用项目和发布来源。

2 项标准共列出 2 项标准与方法。

共 2 项

GB/T 4937.35-2024中国标准半导体器件 机械和气候试验方法 第35部分:塑封电子元器件的声学显微镜检查GB/T 4937.35-2024用于芯片封装分层与空洞检测中的塑封电子元器件分层、裂纹、空洞和封装内部异常声学成像。国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 · 现行/Published · 查看发布机构来源
IEC 60749-35:2006国际标准Semiconductor devices — Mechanical and climatic test methods — Part 35: Acoustic microscopy for plastic encapsulated electronic componentsIEC 60749-35:2006用于芯片封装分层与空洞检测中的塑封电子元器件分层、裂纹、空洞和封装内部异常声学成像。International Electrotechnical Commission · 现行/Published · 查看发布机构来源
07

报告与交付内容

芯片封装分层与空洞检测检测报告检测数据与图表测试条件与质控记录约定附件
芯片封装分层与空洞检测技术报告及主要结论
分层与空洞C扫图、典型A扫波形、B扫截面及面积统计
原始资料:分层与空洞数据;提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标
位置资料:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认
对照资料:将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积
常见报告用途
无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布芯片封装分层与空洞检测数据积累:提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标复测与取样导航:声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认工艺与状态比较:将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积
报告与结果说明

报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。

报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。

样品、批次、工况或标准发生变化时,按新条件开展补充检测。

报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本,相关要求可在需求表中注明。
08

常见问题

01芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞结果图包含什么?

依据强回波、相位反转和连续区域分割界面脱层与内部空洞,统计面积占比,无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布。

02芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞适用哪些送样形式?

塑封芯片、功率模块、倒装封装和带底填胶的封装器件,确认声入射面并排除表面气泡,水程和焦点对准目标界面。

03芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞制样信息怎样记录?

确认声入射面并排除表面气泡,水程和焦点对准目标界面,提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标。

04芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞对照基准样怎样设置?

将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积,探头、焦点、增益、声程门和扫描步长保持一致。

05芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞重点位置如何选择?

声程门分别覆盖芯片粘接层、底填界面和焊接层,异常区复扫确认,确认声入射面并排除表面气泡,水程和焦点对准目标界面。

06芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞参数怎样形成记录?

强回波与相位反转结合A扫波形和器件层序判读,表面耦合伪影先行排除,探头、焦点、增益、声程门和扫描步长保持一致。

07芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞会提供哪些数据文件?

分层与空洞C扫图、典型A扫波形、B扫截面及面积统计,提交器件型号、层序、回流记录、电性现象、关注界面和失效坐标。

08芯片封装分层与空洞检测的分层与空洞结果如何用于改进?

无损成像封装分层与空洞,给出界面位置、面积占比和批次分布,将异常器件与同型号良品按相同探头和声程门比较分层与空洞面积。

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