检测范围
测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异，其中跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异。平台拟合选取连续平整的膜面和基底区域，台阶高度使用多条截面统计。
台阶与膜厚
跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异，采集区域：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场。
对象与条件
台阶与膜厚：跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异，结果用于测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异 三维高度图：在指定扫描范围内记录表面高度矩阵，展示台阶、颗粒、孔洞、划痕和相界，测量位置按以下方式布置：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场 检测对象：带刻蚀窗口的薄膜、涂层见证片、局部裸露基底和完整的多层界面表面 测量位置：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场 数据判读：测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异
需要注意的限制
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值 涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。 涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果对应实际收到的样品、采用的原子力显微镜 AFM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 标出台阶来源、膜层方向和裸基底参照区域；2. 选择适合膜面硬度与台阶高度的探针和扫描范围；3. 垂直跨越边缘采集高度图并在膜面取粗糙度视场；4. 校正平台倾斜后提取多条截面和台阶高度分布；5. 形成局部膜厚、粗糙度、相位图与测点位置对照
探针卷积
横向尺寸受探针尖端半径影响，高度信息更接近真实值，颗粒宽度解释附带探针信息，样品资料：记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式。
反馈设置
扫描速度、增益和设定点影响跟踪质量，条纹、拖尾与双尖伪影在数据处理前排查，测量位置：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场。
平面处理
去倾斜和逐线校正保留真实波纹与台阶，处理阶数和掩膜区域写入数据记录，对照数据：比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度。
区域代表性
纳米视场与宏观表面差异通过多位置、多尺度图像衔接，统计结果标明总评定面积，结果解释：平台拟合选取连续平整的膜面和基底区域，台阶高度使用多条截面统计。
适用产品与样品
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 台阶与膜厚：跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异，结果用于测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异
- 三维高度图：在指定扫描范围内记录表面高度矩阵，展示台阶、颗粒、孔洞、划痕和相界，测量位置按以下方式布置：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场
- 检测对象：带刻蚀窗口的薄膜、涂层见证片、局部裸露基底和完整的多层界面表面
- 测量位置：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场
- 数据判读：测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：带刻蚀窗口的薄膜、涂层见证片、局部裸露基底和完整的多层界面表面
- 02
制样与装夹：清洁膜面并保留清晰台阶边缘，样片固定后使扫描线垂直跨越膜层边缘
- 03
随样资料：记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式
- 04
对照样品：比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度
- 05
位置记录：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场
样品形式：带刻蚀窗口的薄膜、涂层见证片、局部裸露基底和完整的多层界面表面 制样与装夹：清洁膜面并保留清晰台阶边缘，样片固定后使扫描线垂直跨越膜层边缘 随样资料：记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式 对照样品：比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度 位置记录：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM技术报告及主要结论 交付台阶原始高度图、多截面膜厚、膜面粗糙度、相位图和测区照片 原始资料：台阶与膜厚数据；记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式 位置资料：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场 对照资料：比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度
检测项目
台阶与膜厚
跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异，采集区域：扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场。
三维高度图
在指定扫描范围内记录表面高度矩阵，展示台阶、颗粒、孔洞、划痕和相界，对照组合：比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度。
粗糙度参数
经平面校正和线形处理后计算Sa、Sq、Sz或线粗糙度，并标明评定面积，样品资料：记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式。
相位与材料差异
在轻敲模式下同步采集相位或振幅图，识别不同粘弹、附着或组分区域，数据判读：平台拟合选取连续平整的膜面和基底区域，台阶高度使用多条截面统计。
探针卷积
横向尺寸受探针尖端半径影响，高度信息更接近真实值，颗粒宽度解释附带探针信息，并结合平台拟合选取连续平整的膜面和基底区域，台阶高度使用多条截面统计。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 5 项
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 11952:2019《扫描探针显微镜几何量测量系统校准》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 11952:2019—扫描探针显微镜几何量测量系统校准涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 11039:2012《扫描探针显微镜漂移速率测量》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 11039:2012—扫描探针显微镜漂移速率测量报告和检测数据
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。
涂层、薄膜与界面原子力显微镜 AFM结果对应实际收到的样品、采用的原子力显微镜 AFM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚数据怎样解读？
跨越刻蚀窗口或覆盖层边缘提取截面线，统计台阶高度及测点间差异，测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异。
02涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚样品通常怎样送？
带刻蚀窗口的薄膜、涂层见证片、局部裸露基底和完整的多层界面表面，清洁膜面并保留清晰台阶边缘，样片固定后使扫描线垂直跨越膜层边缘。
03涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚制样与资料怎样准备？
清洁膜面并保留清晰台阶边缘，样片固定后使扫描线垂直跨越膜层边缘，记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式。
04涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚不同状态怎样比较？
比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度，探针、模式、扫描范围、速度和反馈参数保持一致。
05涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚取样位置怎样布置？
扫描区横跨台阶两侧并包含足够平台长度，另在完整膜面采集粗糙度视场，清洁膜面并保留清晰台阶边缘，样片固定后使扫描线垂直跨越膜层边缘。
06涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚采集参数怎样管理？
平台拟合选取连续平整的膜面和基底区域，台阶高度使用多条截面统计，探针、模式、扫描范围、速度和反馈参数保持一致。
07涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚图表与数据怎样整理？
交付台阶原始高度图、多截面膜厚、膜面粗糙度、相位图和测区照片，记录基底、层序、刻蚀或掩膜工艺、标称厚度、退火条件和台阶形成方式。
08涂层、薄膜与界面的台阶与膜厚怎样支持异常排查？
测量薄膜台阶高度、局部膜厚、表面粗糙度和膜基相位差异，比较同片多个台阶、膜面与裸基底以及工艺前后样的高度和粗糙度。