检测范围
获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应，其中在目标点采集力-距离曲线，计算黏附力、变形响应或局部模量分布。力学结果使用完成标定的探针与明确接触模型，原始力曲线、基线和拟合区间随参数图保存。
力-距离曲线
按固定加载范围和速率保存接近、接触、加载及回撤全过程原始曲线。
对象与条件
力-距离曲线：按固定加载范围和速率保存接近、接触、加载及回撤全过程原始曲线，结果用于获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应 黏附力：由回撤段脱离峰计算局部黏附力，并与界面两侧和正常区域进行比较，测量位置按以下方式布置：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区 检测对象：芯片钝化层、电极涂层、正负极片、隔膜、固态电解质表面、聚合物复合界面和局部器件功能区 测量位置：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区 数据判读：获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应
需要注意的限制
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值 电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。 电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果对应实际收到的样品、采用的原子力显微镜 AFM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 用高度和相位预扫描定位器件功能区与材料界面；2. 标定探针挠度灵敏度、弹簧常数和尖端接触条件；3. 按固定加载范围与速率采集单点或点阵力距离曲线；4. 扣除基线并计算黏附、压入深度或模型拟合参数；5. 将力学参数图配准到形貌图并保存每条原始曲线
探针标定
挠度灵敏度和弹簧常数在力学测量前完成标定并随曲线交付。
接触模型
模量拟合根据探针几何、泊松比、黏附和基底条件选择模型。
加载程序
加载范围、速率、保持时间和点阵间距在各对照区域保持一致。
曲线质量
每条力曲线保留基线、接触点、拟合区间和回撤段，异常曲线按规则标记。
适用产品与样品
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 力-距离曲线：按固定加载范围和速率保存接近、接触、加载及回撤全过程原始曲线，结果用于获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应
- 黏附力：由回撤段脱离峰计算局部黏附力，并与界面两侧和正常区域进行比较，测量位置按以下方式布置：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区
- 检测对象：芯片钝化层、电极涂层、正负极片、隔膜、固态电解质表面、聚合物复合界面和局部器件功能区
- 测量位置：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区
- 数据判读：获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：芯片钝化层、电极涂层、正负极片、隔膜、固态电解质表面、聚合物复合界面和局部器件功能区
- 02
制样与装夹：清洁目标区并牢固固定；导电模式建立电连接，软材料按空气、控湿或液体环境记录测试状态
- 03
随样资料：记录器件位置、材料层序、循环或载荷状态、探针弹簧常数、挠度灵敏度和加载速率
- 04
对照样品：在正常区、异常区和不同材料相区使用同一力学程序采集力距离曲线
- 05
位置记录：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区
样品形式：芯片钝化层、电极涂层、正负极片、隔膜、固态电解质表面、聚合物复合界面和局部器件功能区 制样与装夹：清洁目标区并牢固固定；导电模式建立电连接，软材料按空气、控湿或液体环境记录测试状态 随样资料：记录器件位置、材料层序、循环或载荷状态、探针弹簧常数、挠度灵敏度和加载速率 对照样品：在正常区、异常区和不同材料相区使用同一力学程序采集力距离曲线 位置记录：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM技术报告及主要结论 交付原始力距离曲线、标定记录、黏附或模量参数图、形貌配准和测点坐标 原始资料：力曲线数据；记录器件位置、材料层序、循环或载荷状态、探针弹簧常数、挠度灵敏度和加载速率 位置资料：力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区 对照资料：在正常区、异常区和不同材料相区使用同一力学程序采集力距离曲线
检测项目
力-距离曲线
按固定加载范围和速率保存接近、接触、加载及回撤全过程原始曲线。
黏附力
由回撤段脱离峰计算局部黏附力，并与界面两侧和正常区域进行比较。
形变响应
依据加载段、回撤段和残余压入深度描述软层或复合界面的局部变形。
表观模量
采用与探针几何和材料接触条件匹配的模型拟合表观模量，同时保存拟合区间。
力学参数图
将点阵力曲线的黏附、形变或模量结果配准到同一区域高度图。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 5 项
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 11952:2019《扫描探针显微镜几何量测量系统校准》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 11952:2019—扫描探针显微镜几何量测量系统校准电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 11039:2012《扫描探针显微镜漂移速率测量》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 11039:2012—扫描探针显微镜漂移速率测量报告和检测数据
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果单个视场对应具体测区，整批和整体结构增加代表性测点；三维结构采用三维方法评价，并记录制样、真空、束流和图像阈值
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。
电子器件、电池与复合材料原子力显微镜 AFM结果对应实际收到的样品、采用的原子力显微镜 AFM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01电子器件、电池与复合材料的力曲线能获得哪些结果？
在目标点采集力-距离曲线，经过探针弹簧常数和挠度灵敏度标定后，给出黏附力、形变响应或表观模量，并与表面结构位置配准。
02电子器件、电池与复合材料的力曲线可接收哪些样品？
芯片钝化层、电极涂层、正负极片、隔膜、固态电解质表面、聚合物复合界面和局部器件功能区，清洁目标区并牢固固定；导电模式建立电连接，软材料按空气、控湿或液体环境记录测试状态。
03电子器件、电池与复合材料的力曲线送样前需要记录什么？
清洁目标区并牢固固定；导电模式建立电连接，软材料按空气、控湿或液体环境记录测试状态，记录器件位置、材料层序、循环或载荷状态、探针弹簧常数、挠度灵敏度和加载速率。
04电子器件、电池与复合材料的力曲线参照条件如何保持？
在正常区、异常区和不同材料相区使用同一力学程序采集力距离曲线，探针、模式、扫描范围、速度和反馈参数保持一致。
05电子器件、电池与复合材料的力曲线重复测量选哪些位置？
力曲线点阵配准到高度图与相位图，覆盖界面两侧及相邻平整基准区，清洁目标区并牢固固定；导电模式建立电连接，软材料按空气、控湿或液体环境记录测试状态。
06电子器件、电池与复合材料的力曲线数据质量如何检查？
力学结果使用完成标定的探针与明确接触模型，原始力曲线、基线和拟合区间随参数图保存，探针、模式、扫描范围、速度和反馈参数保持一致。
07电子器件、电池与复合材料的力曲线结果文件有哪些？
交付原始力距离曲线、标定记录、黏附或模量参数图、形貌配准和测点坐标，记录器件位置、材料层序、循环或载荷状态、探针弹簧常数、挠度灵敏度和加载速率。
08电子器件、电池与复合材料的力曲线结果可用于哪些应用？
获得局部黏附力、形变响应或表观模量分布，并与表面结构位置对应，在正常区、异常区和不同材料相区使用同一力学程序采集力距离曲线。