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标准解读

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T 31227-2014 Analysis Method Standard

GB/T 31227-2014规定原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,内容包括适用样品、设备配置、实施步骤、原始记录、数据处理和报告字段,并链接国家标准化管理委员会标准详情页。

发布机构:浙江中见检测有限公司更新日期:

文章要点
尺寸与表面测量 · 测试条件
适用对象
物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目 · 保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样
参考依据
见本页技术说明
结果解释
探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性 · 薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果
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本页说明

GB/T 31227-2014规定原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,内容包括适用样品、设备配置、实施步骤、原始记录、数据处理和报告字段,并链接国家标准化管理委员会标准详情页。

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适用对象与条件

  • 物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目
  • 保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样
  • 依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算
  • 探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性
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主要要求与方法

尺寸与表面测量

依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算

测试条件

探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性

样品处理

薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果

技术说明

方法、条件与注意事项

标准用途

GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》用于原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度。标准在分析服务中对应物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目,方法记录直接关联样品编号、设备参数、原始数据和报告结果。

关联分析项目

- [单颗粒、微区与局部取样分析](/services/analysis/method-development/trace-small-and-precious-sample-strategy/single-particle-micro-area-and-local-sampling-analysis):单颗粒、微区与局部取样分析采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [物相表面热分析与XPS峰拟合](/services/analysis/data-interpretation/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis-phase-surface-and-thermal-analy):物相表面热分析与XPS峰拟合采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [显微颗粒位置与XPS价态分析](/services/analysis/data-interpretation/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis-microscopy-particle-and-3d-data):显微颗粒位置与XPS价态分析采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [涂层、胶黏剂与密封材料选型](/services/analysis/research-appraisal/material-selection-and-substitution-evaluation/coating-adhesive-and-sealant-selection):涂层、胶黏剂与密封材料选型采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。

适用样品

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样。样品登记包含名称、材料或基质、型号、批次、取样位置、数量、状态和保存条件;对比分析将正常样、异常样、来源样和留样分别编号。

设备与配置

原子力显微镜、经表征探针、扫描器位移校准样、隔振平台和表面形貌分析软件。设备记录包含主机、关键附件、校准材料、方法程序和数据系统版本,测量条件与原始文件使用同一项目编号。

实施步骤

依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算。实施顺序写入项目记录,样品前处理、测量位置、重复次数和质量控制样与对应数据逐项关联。

原始记录

原始记录包括探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。数据文件保留采集时间、设备状态、方法参数、样品顺序和处理过程;图谱、曲线、图像和计算表通过样品编号相互对应。

数据处理

探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性用于形成结果表、曲线或图谱。处理记录列出基线、峰识别、校准、拟合、校正、统计或判定步骤,处理前数据与最终结果同时归档。

质量控制

GB/T 31227-2014项目按方法配置空白、校准样、参考样、平行样、加标样或对照样。质量控制记录列出接受结果、异常处理和复测数据,保证样品、原始记录和报告字段一致。

报告内容

薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果。报告同时列出执行标准、样品信息、前处理、仪器和方法条件、质量控制、结果单位以及关联的图谱、曲线或照片。

官方来源

国家标准化管理委员会发布了GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》,[查看官方标准详情](https://openstd.samr.gov.cn/bzgk/std/newGbInfo?hcno=2A958896CA8BA19EFA42AFE299FD6A32)。

04

需要结合哪些资料

  • 保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样;单颗粒、微区与局部取样分析、物相表面热分析与XPS峰拟合、显微颗粒位置与XPS价态分析、涂层、胶黏剂与密封材料选型所涉及的代表性样品、对照样和质量控制样
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参考依据与来源

资料来源标准和方法来源
发布或实施日期 2015-04-15

国家标准化管理委员会发布GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》。

标准编号:GB/T 31227-2014;标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法;发布机构:国家标准化管理委员会;状态:现行。

国家标准化管理委员会标准详情页
发布或实施日期 2015-04-15

GB/T 31227-2014规定的技术项目和记录内容。

技术项目:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度;适用对象:物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目;数据记录:探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。

国家标准化管理委员会标准详情页
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结果怎样使用

  • 探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性
  • 薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果
  • GB/T 31227-2014官方标准详情页与关联分析项目

使用结果时需要结合的事项

  • 单颗粒、微区与局部取样分析、物相表面热分析与XPS峰拟合、显微颗粒位置与XPS价态分析、涂层、胶黏剂与密封材料选型的方法实施;研发和材料比较;质量数据和技术报告
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哪些判断还不能确定

  • GB/T 31227-2014标准正文列明适用对象、试样规格和技术步骤
  • 结果表同步记录产品限值、判定值和对应产品规范
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标准使用常见问题

01GB/T 31227-2014规定什么内容?

GB/T 31227-2014用于原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,技术内容包括样品、设备、实施步骤、数据处理和报告记录。 依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算

02GB/T 31227-2014适用哪些样品?

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样,样品编号与前处理、测量位置和原始数据逐项对应。 试样和设备配置为原子力显微镜、经表征探针、扫描器位移校准样、隔振平台和表面形貌分析软件。

03GB/T 31227-2014记录哪些数据?

项目记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性,并保留采集参数、质量控制结果和数据处理过程。 实施过程为依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算。

04GB/T 31227-2014报告包含哪些内容?

报告包含薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果,结果表与样品编号、方法条件及原始记录相互对应。 报告将探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性与样品编号、方法条件和质量控制记录对应。