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标准解读

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

GB/T 31227-2014 Analysis Method Standard

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法适用于物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目。分析服务按该标准执行依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式,形成探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数。

检测内容
尺寸与表面测量 · 测试条件
适用对象
物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目 · 保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样
方法标准
检测方法与执行标准
报告交付
探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性 · 薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果
项目受理登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
过程质控记录检测条件并审核原始数据
报告交付交付结果、附件和技术说明
01

标准适用范围

检测范围检测内容与适用对象

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法介绍标准的适用对象、有效版本、执行条件、关键步骤和结果用途。

01主要技术要求

尺寸与表面测量

依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算

02适用对象与场景

物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样

03委托资料与样品

样品、现象、标准版本、已有数据和结果用途

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样

04报告与交付内容

标准技术要求 + 检测条件记录

探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性

技术说明

项目技术要点

标准用途

GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》用于原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度。标准在分析服务中对应物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目,方法记录直接关联样品编号、设备参数、原始数据和报告结果。

关联分析项目

- [单颗粒、微区与局部取样分析](/services/analysis/method-development/trace-small-and-precious-sample-strategy/single-particle-micro-area-and-local-sampling-analysis):单颗粒、微区与局部取样分析采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [物相表面热分析与XPS峰拟合](/services/analysis/data-interpretation/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis-phase-surface-and-thermal-analy):物相表面热分析与XPS峰拟合采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [显微颗粒位置与XPS价态分析](/services/analysis/data-interpretation/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis/xps-peak-fitting-and-chemical-state-analysis-microscopy-particle-and-3d-data):显微颗粒位置与XPS价态分析采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。 - [涂层、胶黏剂与密封材料选型](/services/analysis/research-appraisal/material-selection-and-substitution-evaluation/coating-adhesive-and-sealant-selection):涂层、胶黏剂与密封材料选型采用GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》开展原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,作为关联技术方法记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。

适用样品

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样。样品登记包含名称、材料或基质、型号、批次、取样位置、数量、状态和保存条件;对比分析将正常样、异常样、来源样和留样分别编号。

设备与配置

原子力显微镜、经表征探针、扫描器位移校准样、隔振平台和表面形貌分析软件。设备记录包含主机、关键附件、校准材料、方法程序和数据系统版本,测量条件与原始文件使用同一项目编号。

实施步骤

依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算。实施顺序写入项目记录,样品前处理、测量位置、重复次数和质量控制样与对应数据逐项关联。

原始记录

原始记录包括探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。数据文件保留采集时间、设备状态、方法参数、样品顺序和处理过程;图谱、曲线、图像和计算表通过样品编号相互对应。

02

适用对象与应用场景

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法适用于以下对象、测试目的和应用条件。

适用产品与技术问题

  • 物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目
  • 保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样
  • 依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算
  • 探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性
03

委托资料与样品要求

提交标准编号和版本、产品或材料信息、样品状态、判定依据及报告用途。

  1. 01

    保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样

  2. 02

    单颗粒、微区与局部取样分析、物相表面热分析与XPS峰拟合、显微颗粒位置与XPS价态分析、涂层、胶黏剂与密封材料选型所涉及的代表性样品、对照样和质量控制样

所需资料与样品资料与样品要求

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样。适用版本、产品要求、现象记录和已有数据用于匹配标准与验证方案。

实施安排技术问题与检测方案

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法项目列明技术问题、标准版本、样品量、执行条件与结果交付日期。

可形成的结果标准技术要求 · 检测条件记录 · 检测报告与原始记录

主要提供探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性、薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果,其他数据和附件在委托单中列明。

实施方式标准解读与检测执行支持

技术问题、适用标准和现有资料对应至检测项目,并完成结果复核。

04

主要技术要求

01

尺寸与表面测量

依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算

02

测试条件

探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性

03

样品处理

薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果

05

标准实施要点

现有设备和检测能力GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法列明标准版本、样品条件和检测方法,并提供尺寸与表面测量、测试条件等实测数据。
01

应用场景

GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法覆盖研发、质量控制、验收、认证支持和争议核查。

02

标准版本

列明标准编号、年份、修订件、引用文件以及合同或产品规范要求。

03

对象与样品

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样

04

确定执行条件

把尺寸与表面测量、测试条件落实为设备、环境、步骤、参数、质量控制和记录要求。

05

完成检测与复核

按规定条件实施测试,复核原始数据、计算过程、异常记录和判定依据。

06

交付结果和说明

提供探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性、薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果、标准版本、测试条件和相关记录。

06

版本与关联标准

资料来源标准发布与方法来源
发布或实施日期 2015-04-15

国家标准化管理委员会发布GB/T 31227-2014《原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》。

标准编号:GB/T 31227-2014;标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法;发布机构:国家标准化管理委员会;状态:现行。

国家标准化管理委员会标准详情页
发布或实施日期 2015-04-15

GB/T 31227-2014规定的技术项目和记录内容。

技术项目:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度;适用对象:物理或化学溅射薄膜表面纳米尺度形貌与粗糙度技术项目;数据记录:探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性。

国家标准化管理委员会标准详情页
07

报告与交付内容

标准技术要求检测条件记录检测报告与原始记录版本与引用文件清单
探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性
薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果
GB/T 31227-2014官方标准详情页与关联分析项目
常见报告用途
单颗粒、微区与局部取样分析、物相表面热分析与XPS峰拟合、显微颗粒位置与XPS价态分析、涂层、胶黏剂与密封材料选型的方法实施研发和材料比较质量数据和技术报告
报告与结果说明

报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。

报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。

样品、批次、工况或标准发生变化时,按新条件开展补充检测。

报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本,相关要求可在需求表中注明。
08

标准应用常见问题

01GB/T 31227-2014规定什么内容?

GB/T 31227-2014用于原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度,技术内容包括样品、设备、实施步骤、数据处理和报告记录。 依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算

02GB/T 31227-2014适用哪些样品?

保持原始表面、平整固定并选取代表性区域的溅射薄膜试样,样品编号与前处理、测量位置和原始数据逐项对应。 试样和设备配置为原子力显微镜、经表征探针、扫描器位移校准样、隔振平台和表面形貌分析软件。

03GB/T 31227-2014记录哪些数据?

项目记录探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性,并保留采集参数、质量控制结果和数据处理过程。 实施过程为依据GB/T 31227-2014选择测区与扫描尺度,设置探针、成像模式、扫描速率和像素密度,采集多个区域的高度图并按规定执行倾斜校正和粗糙度计算。

04GB/T 31227-2014报告包含哪些内容?

报告包含薄膜制备信息与测区、探针和扫描参数、原始及处理后高度图、数据处理步骤、粗糙度参数与重复结果,结果表与样品编号、方法条件及原始记录相互对应。 报告将探针与成像模式、扫描尺寸和像素数、高度图、平整化参数、算术平均粗糙度、均方根粗糙度和区域间离散性与样品编号、方法条件和质量控制记录对应。