检测范围
分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合，其中按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度。倒易坐标、色标和强度归一化全组统一，峰位比较保留仪器分辨信息。
组分与应变计算
按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度，采集区域：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差。
对象与条件
组分与应变计算：按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度，结果用于分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合 非对称反射扫描：结合面内与面外倒易矢量分量计算面内晶格常数、组分和应变状态，测量位置按以下方式布置：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差 检测对象：外延薄膜、缓冲层、异质结和具有清晰基底反射的单晶多层结构 测量位置：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差 数据判读：分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合
需要注意的限制
倒易空间图 RSM结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件；整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行 倒易空间图 RSM结果物相分析同步记录含量、结晶度、峰重叠、择优取向、荧光背景、样品尺寸和模型；无定形相与低含量相结合互补方法复核。 倒易空间图 RSM结果对应实际收到的样品、采用的高分辨XRD与倒易空间图 HRXRD/RSM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 选择能同时显示基底峰和外延层峰的非对称反射；2. 精确对准方位角、入射面和衍射面并锁定基底峰；3. 按统一Qx-Qz覆盖范围采集二维倒易空间数据；4. 实施背景处理、坐标换算、峰分离和展宽方向拟合；5. 标注基底、缓冲层、外延层及卫星峰并输出结构关系
仪器分辨
单色器与分析器的分辨函数写入峰宽评价，避免把仪器展宽解释为晶体缺陷，样品资料：记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数。
反射选择
对称反射主要表征面外方向，非对称反射提供面内分量，两者联合完成应变分解，测量位置：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差。
材料模型
组分计算采用对应材料体系的晶格常数与弹性常数，温度和掺杂影响纳入参数记录，对照数据：比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形。
峰形处理
基底峰、层峰与卫星峰分别标注，分峰区间和背景函数随报告一并保存，结果解释：倒易坐标、色标和强度归一化全组统一，峰位比较保留仪器分辨信息。
适用产品与样品
倒易空间图 RSM适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 组分与应变计算：按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度，结果用于分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合
- 非对称反射扫描：结合面内与面外倒易矢量分量计算面内晶格常数、组分和应变状态，测量位置按以下方式布置：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差
- 检测对象：外延薄膜、缓冲层、异质结和具有清晰基底反射的单晶多层结构
- 测量位置：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差
- 数据判读：分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：外延薄膜、缓冲层、异质结和具有清晰基底反射的单晶多层结构
- 02
制样与装夹：以晶圆缺口定方位，选择平整完整区域并记录目标反射和生长方向
- 03
随样资料：记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数
- 04
对照样品：比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形
- 05
位置记录：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差
样品形式：外延薄膜、缓冲层、异质结和具有清晰基底反射的单晶多层结构 制样与装夹：以晶圆缺口定方位，选择平整完整区域并记录目标反射和生长方向 随样资料：记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数 对照样品：比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形 位置记录：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差
倒易空间图 RSM技术报告及主要结论 交付原始RSM、Qx-Qz坐标图、各层峰位、展宽方向及弛豫结构标注 原始资料：组分与应变计算数据；记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数 位置资料：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差 对照资料：比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形
检测项目
组分与应变计算
按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度，采集区域：对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差。
非对称反射扫描
结合面内与面外倒易矢量分量计算面内晶格常数、组分和应变状态，对照组合：比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形。
倒易空间图
在Qx-Qz空间分离基底、外延层、缓冲层和卫星峰，展示弛豫及马赛克展宽方向，样品资料：记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数。
对称反射扫描
测量生长方向晶格间距与外延峰位置，获得面外晶格常数和层峰展宽，数据判读：倒易坐标、色标和强度归一化全组统一，峰位比较保留仪器分辨信息。
摇摆与径向展宽
分别分析ω方向和ω-2θ方向半峰宽，区分倾斜、扭转、厚度和微应变贡献，应用方向：分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 1 项
报告和检测数据
倒易空间图 RSM结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件；整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行
倒易空间图 RSM结果物相分析同步记录含量、结晶度、峰重叠、择优取向、荧光背景、样品尺寸和模型；无定形相与低含量相结合互补方法复核。
倒易空间图 RSM结果对应实际收到的样品、采用的高分辨XRD与倒易空间图 HRXRD/RSM条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01倒易空间图 RSM的组分与应变计算关键参数如何呈现？
按材料体系的无应变晶格关系计算合金组分、双轴应变和弛豫度，分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合。
02倒易空间图 RSM的组分与应变计算送样类型有哪些？
外延薄膜、缓冲层、异质结和具有清晰基底反射的单晶多层结构，以晶圆缺口定方位，选择平整完整区域并记录目标反射和生长方向。
03倒易空间图 RSM的组分与应变计算制样步骤有哪些？
以晶圆缺口定方位，选择平整完整区域并记录目标反射和生长方向，记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数。
04倒易空间图 RSM的组分与应变计算比较方案包括什么？
比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形，反射、单色光学、样品方位和倒易坐标换算保持一致。
05倒易空间图 RSM的组分与应变计算位置分布如何安排？
对中心与边缘方位采集相同反射的RSM，避免把不同反射图直接并作位置差，以晶圆缺口定方位，选择平整完整区域并记录目标反射和生长方向。
06倒易空间图 RSM的组分与应变计算质量记录怎样保存？
倒易坐标、色标和强度归一化全组统一，峰位比较保留仪器分辨信息，反射、单色光学、样品方位和倒易坐标换算保持一致。
07倒易空间图 RSM的组分与应变计算交付资料怎样组成？
交付原始RSM、Qx-Qz坐标图、各层峰位、展宽方向及弛豫结构标注，记录基底、外延层序、晶向关系、设计组分、厚度和测量反射指数。
08倒易空间图 RSM的组分与应变计算能用于哪些应用？
分离面内与面外晶格响应，显示外延弛豫、倾斜、展宽和层间耦合，比较基底、缓冲层和外延层在Qx-Qz空间的相对位置、展宽与峰形。