检测范围
利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物，其中通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物。样面倾斜与表面起伏会改变BSE灰度，成分解释以平整同几何视场为基础。
背散射成像
通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物，采集区域：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点。
对象与条件
背散射成像：通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物，结果用于利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物 二次电子成像：以SE信号记录表面起伏、颗粒边缘、断口韧窝和微裂纹等精细形貌，测量位置按以下方式布置：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点 检测对象：抛光金属截面、多相陶瓷、镀层界面、夹杂区域和组成差异明显的平整样面 测量位置：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点 数据判读：利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物
需要注意的限制
背散射电子成分衬度 BSE结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认 背散射电子成分衬度 BSE结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。 背散射电子成分衬度 BSE结果对应实际收到的样品、采用的扫描电镜与能谱 SEM/EDS条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 根据截面层序和候选相选择代表区及界面区；2. 完成导电装样并调整样面法向与探测器几何；3. 采集配对的SE和BSE图，统一亮度、对比度与束流；4. 分割灰度相区并用目标点能谱核对主要元素差异；5. 输出相区位置、灰度统计、界面图和参数记录
导电处理
非导电样品采用低真空或薄层导电镀膜，能谱分析记录镀层元素以免误判，样品资料：记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置。
作用体积
电子束在样品内具有有限作用体积，颗粒小于作用体积时能谱包含基体信号，测量位置：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点。
几何一致
倾角、工作距离和探测器遮挡会影响X射线计数，批次比较采用一致装样几何，对照数据：在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度。
轻元素识别
轻元素及谱线重叠通过背景、峰形和候选相综合判断，原始谱图保留拟合结果，结果解释：样面倾斜与表面起伏会改变BSE灰度，成分解释以平整同几何视场为基础。
适用产品与样品
背散射电子成分衬度 BSE适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 背散射成像：通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物，结果用于利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物
- 二次电子成像：以SE信号记录表面起伏、颗粒边缘、断口韧窝和微裂纹等精细形貌，测量位置按以下方式布置：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点
- 检测对象：抛光金属截面、多相陶瓷、镀层界面、夹杂区域和组成差异明显的平整样面
- 测量位置：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点
- 数据判读：利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：抛光金属截面、多相陶瓷、镀层界面、夹杂区域和组成差异明显的平整样面
- 02
制样与装夹：截面精细磨抛并保持表面平整，导电层选择不干扰待比较原子序数衬度的材料与厚度
- 03
随样资料：记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置
- 04
对照样品：在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度
- 05
位置记录：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点
样品形式：抛光金属截面、多相陶瓷、镀层界面、夹杂区域和组成差异明显的平整样面 制样与装夹：截面精细磨抛并保持表面平整，导电层选择不干扰待比较原子序数衬度的材料与厚度 随样资料：记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置 对照样品：在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度 位置记录：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点
背散射电子成分衬度 BSE技术报告及主要结论 交付BSE成分衬度图、配对SE图、相区标注、灰度统计及核对点谱 原始资料：背散射成像数据；记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置 位置资料：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点 对照资料：在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度
检测项目
背散射成像
通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物，采集区域：视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点。
二次电子成像
以SE信号记录表面起伏、颗粒边缘、断口韧窝和微裂纹等精细形貌，对照组合：在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度。
EDS点分析
对指定颗粒或相区采集能谱，给出检出元素与半定量质量分数或原子分数，样品资料：记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置。
失效位置关联
将宏观失效位置、截面层序、SEM形貌和EDS成分按同一坐标链路对应，数据判读：样面倾斜与表面起伏会改变BSE灰度，成分解释以平整同几何视场为基础。
导电处理
非导电样品采用低真空或薄层导电镀膜，能谱分析记录镀层元素以免误判，并结合样面倾斜与表面起伏会改变BSE灰度，成分解释以平整同几何视场为基础。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 1 项
报告和检测数据
背散射电子成分衬度 BSE结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认
背散射电子成分衬度 BSE结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。
背散射电子成分衬度 BSE结果对应实际收到的样品、采用的扫描电镜与能谱 SEM/EDS条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像关键参数如何呈现？
通过BSE原子序数衬度区分不同成分区域、夹杂相、偏析和界面反应产物，利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物。
02背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像送样类型有哪些？
抛光金属截面、多相陶瓷、镀层界面、夹杂区域和组成差异明显的平整样面，截面精细磨抛并保持表面平整，导电层选择不干扰待比较原子序数衬度的材料与厚度。
03背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像制样步骤有哪些？
截面精细磨抛并保持表面平整，导电层选择不干扰待比较原子序数衬度的材料与厚度，记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置。
04背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像比较方案包括什么？
在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度，加速电压、工作距离、探测器和能谱采集条件保持一致。
05背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像位置分布如何安排？
视场横跨相界或层间界面，并保留同区域SE图和少量成分核对点，截面精细磨抛并保持表面平整，导电层选择不干扰待比较原子序数衬度的材料与厚度。
06背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像质量记录怎样保存？
样面倾斜与表面起伏会改变BSE灰度，成分解释以平整同几何视场为基础，加速电压、工作距离、探测器和能谱采集条件保持一致。
07背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像交付资料怎样组成？
交付BSE成分衬度图、配对SE图、相区标注、灰度统计及核对点谱，记录候选相、基体组成、抛光流程、加速电压、工作距离和背散射探测器配置。
08背散射电子成分衬度 BSE的背散射成像能用于哪些应用？
利用背散射原子序数衬度定位相区、夹杂物、偏析带和界面产物，在统一电子束条件下比较基体、第二相、夹杂、偏析和反应层的灰度。