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标准解读

ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments

ISO 25178-700:2022 Instrumental Analysis Standard

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》由国际标准化组织发布，适用于三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。

发布机构：浙江中见检测有限公司更新日期：

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文章要点
ISO 25178-700 · 取样与样品处理
适用对象
ISO 25178-700:2022用于三维表面粗糙度与形貌的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。 · ISO 25178-700:2022用于台阶高度、膜厚与沟槽深度的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
参考依据
见本页技术说明
结果解释
ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》实施信息与三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试实测结果 · 样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录
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本页说明

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》由国际标准化组织发布，适用于三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。

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适用对象与条件

  • ISO 25178-700:2022用于三维表面粗糙度与形貌的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
  • ISO 25178-700:2022用于台阶高度、膜厚与沟槽深度的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
  • ISO 25178-700:2022用于磨损体积与材料损失的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
  • ISO 25178-700:2022用于翘曲、平面度与波纹度的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
  • ISO 25178-700:2022用于三维景深合成与表面观察的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。
  • 三维表面粗糙度与形貌的标准方法实施与数据记录
  • 台阶高度、膜厚与沟槽深度的标准方法实施与数据记录
  • 磨损体积与材料损失的标准方法实施与数据记录
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主要要求与方法

ISO 25178-700

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》在三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试中按具体对象落实方法步骤和技术参数

取样与样品处理

登记样品、制样过程、仪器型号、测量程序和实际采集参数

质量控制

关联校准核查、标准样或对照样、原始图谱、图像、曲线及计算过程

补充质量控制

按ISO 25178-700:2022整理质量控制、重复结果、数据处理过程和报告记录

技术说明

方法、条件与注意事项

标准概况

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》由国际标准化组织发布，适用于三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。

技术应用

- ISO 25178-700:2022用于三维表面粗糙度与形貌的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。 - ISO 25178-700:2022用于台阶高度、膜厚与沟槽深度的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。 - ISO 25178-700:2022用于磨损体积与材料损失的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。 - ISO 25178-700:2022用于翘曲、平面度与波纹度的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。 - ISO 25178-700:2022用于三维景深合成与表面观察的Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目实施与数据记录。

相关仪器项目

ISO 25178-700:2022关联以下仪器测试项目： - [三维表面粗糙度与形貌](/services/instrument-testing/morphology-imaging/white-light-interferometry-and-3d-optical-profilometry/3d-surface-roughness-and-topography) - [台阶高度、膜厚与沟槽深度](/services/instrument-testing/morphology-imaging/white-light-interferometry-and-3d-optical-profilometry/step-height-film-thickness-and-groove-depth) - [磨损体积与材料损失](/services/instrument-testing/morphology-imaging/white-light-interferometry-and-3d-optical-profilometry/wear-volume-and-material-loss) - [翘曲、平面度与波纹度](/services/instrument-testing/morphology-imaging/white-light-interferometry-and-3d-optical-profilometry/warpage-flatness-and-waviness) - [三维景深合成与表面观察](/services/instrument-testing/morphology-imaging/digital-microscopy-and-video-measurement/3d-depth-composition-and-surface-observation)

方法实施与原始记录

三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试按ISO 25178-700:2022记录样品与制样信息、仪器型号、测量程序、实际采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。

样品与项目信息

提交样品名称、材质或组成、型号、批次、数量、取样位置和报告用途；标明ISO 25178-700:2022项目的待测参数、样品状态和已有技术资料；按Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments对应对象完成样品包装、标识、保存和运输；将样品编号与批次、取样位置、前处理记录和报告用途逐项对应。样品编号与测量位置、前处理过程、批次和原始记录保持对应。

数据与质量控制

Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments的数据质量控制围绕三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试展开：光谱、图像、曲线或数值结果分别归档，并按ISO 25178-700:2022关联仪器状态、校准核查、标准样、平行样、重复结果和项目原始数据。

报告与交付

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》实施信息与三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试实测结果；样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录；原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论；ISO 25178-700:2022项目的数据处理、重复结果和标准应用记录。报告标明ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》、实际仪器项目、样品信息、方法条件和实测结果。

官方来源

国际标准化组织发布了ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》，[查看该标准的官方发布记录](https://www.iso.org/standard/78204.html)。

04

需要结合哪些资料

  • ISO 25178-700:2022对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置；三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试对应的代表性样品、平行样、对照样和项目资料
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参考依据与来源

资料来源标准和方法来源
来源资料

ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》由国际标准化组织发布。

标准编号：ISO 25178-700:2022；标准名称：Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments；发布机构：国际标准化组织。

国际标准化组织
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结果怎样使用

  • ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》实施信息与三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试实测结果
  • 样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录
  • 原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论
  • ISO 25178-700:2022项目的数据处理、重复结果和标准应用记录

使用结果时需要结合的事项

  • 三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试的方法实施记录；Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments对应的研发与质量控制；ISO 25178-700:2022项目的批次比较与结果复核
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标准使用常见问题

01ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments包括哪些检测内容？

ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments的主要内容包括ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》在三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。

02ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments需要提供哪些样品和资料？

送样包括ISO 25178-700:2022对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。

03ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments采用什么标准和方法？

主要依据为ISO 25178-700:2022，检测方法包括ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》在三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。

04ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments报告包含哪些内容？

主要交付ISO 25178-700:2022《Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments》实施信息与三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 ISO 25178-700:2022 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 700: Calibration, adjustment and verification of areal topography measuring instruments报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于三维表面粗糙度与形貌、台阶高度、膜厚与沟槽深度、磨损体积与材料损失、翘曲、平面度与波纹度等5项仪器测试的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。

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