检测范围
描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度，其中计算KAM、GOS或晶内取向差，比较塑性变形、热影响和损伤集中区域的取向梯度。晶体相按候选结构完成索引，非晶粘结相、孔隙和零解点通过位置图分别标注。
取向成像
生成IPF取向图并按样品法向、加工方向或指定方向着色，展示晶粒及取向梯度，采集区域：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体。
对象与条件
局部取向差：计算KAM、GOS或晶内取向差，比较塑性变形、热影响和损伤集中区域的取向梯度，结果用于描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度 取向成像：生成IPF取向图并按样品法向、加工方向或指定方向着色，展示晶粒及取向梯度，测量位置按以下方式布置：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体 检测对象：微连接截面、电极复合层、金属互连和封装局部精抛截面 测量位置：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体 数据判读：描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度
需要注意的限制
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件；整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行 电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。 电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果对应实际收到的样品、采用的电子背散射衍射 EBSD条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 把电性或外观坐标转移到精抛截面并确认目标结构；2. 根据多相材料和特征尺寸设置候选相与扫描步长；3. 采集目标互连或电极区域的菊池花样和取向数据；4. 完成相识别、晶粒重构、晶界及局部取向差计算；5. 将EBSD图与器件层序、异常坐标和对照区域对应交付
表面质量
残余变形层会削弱菊池花样，最终采用胶体二氧化硅、离子抛光或低损伤精抛，样品资料：提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标。
步长选择
步长与最小目标晶粒匹配，晶粒统计至少包含足够像素以避免过度分割，测量位置：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体。
索引可靠性
零解点、伪解和相间花样相似通过置信指标、带数及邻域一致性检查，对照数据：将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较。
数据清理
清理规则、最小晶粒、错配角和置信阈值写入报告，原始与处理后数据同时保留，结果解释：晶体相按候选结构完成索引，非晶粘结相、孔隙和零解点通过位置图分别标注。
适用产品与样品
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 局部取向差：计算KAM、GOS或晶内取向差，比较塑性变形、热影响和损伤集中区域的取向梯度，结果用于描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度
- 取向成像：生成IPF取向图并按样品法向、加工方向或指定方向着色，展示晶粒及取向梯度，测量位置按以下方式布置：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体
- 检测对象：微连接截面、电极复合层、金属互连和封装局部精抛截面
- 测量位置：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体
- 数据判读：描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：微连接截面、电极复合层、金属互连和封装局部精抛截面
- 02
制样与装夹：依据失效坐标制备截面，采用低损伤终抛保护细小互连和多相界面
- 03
随样资料：提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标
- 04
对照样品：将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较
- 05
位置记录：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体
样品形式：微连接截面、电极复合层、金属互连和封装局部精抛截面 制样与装夹：依据失效坐标制备截面，采用低损伤终抛保护细小互连和多相界面 随样资料：提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标 对照样品：将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较 位置记录：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD技术报告及主要结论 微连接或电极IPF图、相图、晶界与局部取向差结果、坐标对应图 原始资料：局部取向差数据；提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标 位置资料：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体 对照资料：将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较
检测项目
取向成像
生成IPF取向图并按样品法向、加工方向或指定方向着色，展示晶粒及取向梯度，采集区域：测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体。
物相分布
使用候选相晶体结构同时索引，输出相面积分数与相界位置，对照组合：将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较。
局部取向差
计算KAM、GOS或晶内取向差，比较塑性变形、热影响和损伤集中区域的取向梯度，样品资料：提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标。
晶粒与晶界
依据最小晶粒像素和错配角阈值重构晶粒，统计等效直径、高宽比和晶界类型，数据判读：晶体相按候选结构完成索引，非晶粘结相、孔隙和零解点通过位置图分别标注。
特殊晶界
识别低角度、高角度、孪晶或CSL晶界，统计长度分数及空间分布，应用方向：描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 2 项
报告和检测数据
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件；整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果观察结果与实际取样位置和视场对应；三维结构采用三维方法评价，图像统计同步记录阈值及束流、真空、切割和抛光条件。
电子器件、电池与复合材料电子背散射衍射 EBSD结果对应实际收到的样品、采用的电子背散射衍射 EBSD条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01电子器件、电池与复合材料的局部取向差会形成哪些数据？
计算KAM、GOS或晶内取向差，比较塑性变形、热影响和损伤集中区域的取向梯度，描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度。
02电子器件、电池与复合材料的局部取向差可以分析哪些样品？
微连接截面、电极复合层、金属互连和封装局部精抛截面，依据失效坐标制备截面，采用低损伤终抛保护细小互连和多相界面。
03电子器件、电池与复合材料的局部取向差送检前要做好哪些处理？
依据失效坐标制备截面，采用低损伤终抛保护细小互连和多相界面，提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标。
04电子器件、电池与复合材料的局部取向差工艺批次如何比较？
将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较，步长、候选相、索引和晶粒重构参数保持一致。
05电子器件、电池与复合材料的局部取向差测区怎样覆盖样品？
测区准确覆盖焊点、互连层、电极颗粒接触区及周边基体，依据失效坐标制备截面，采用低损伤终抛保护细小互连和多相界面。
06电子器件、电池与复合材料的局部取向差重复性测量如何安排？
晶体相按候选结构完成索引，非晶粘结相、孔隙和零解点通过位置图分别标注，步长、候选相、索引和晶粒重构参数保持一致。
07电子器件、电池与复合材料的局部取向差交付内容有哪些？
微连接或电极IPF图、相图、晶界与局部取向差结果、坐标对应图，提交器件层序、电性现象、回流或循环条件、候选相及目标坐标。
08电子器件、电池与复合材料的局部取向差如何支持研发分析？
描述微连接和电极材料的晶粒取向、相分布及局部取向梯度，将异常互连与相邻正常互连，或循环前后电极区域按相同步长比较。