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仪器分析

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS

SIMS / TOF-SIMS — Metal Surfaces & Protective Coatings

以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物,其中按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子。SIMS信号受基质效应影响,同类表面按一致一次离子剂量和极性比较。

检测内容
表面质谱 · 化学成像
适用对象
表面质谱:按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,结果用于以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物 · 化学成像:选择目标离子峰生成二维分布图,定位微量污染、添加剂、腐蚀产物和相区,测量位置按以下方式布置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展
方法标准
GB/T 41064-2021
报告交付
金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS技术报告及主要结论 · 金属表面TOF-SIMS质谱、污染离子图、峰归属和区域对照
确认检测需求登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
检查检测过程记录检测条件并审核原始数据
出具报告交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物,其中按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子。SIMS信号受基质效应影响,同类表面按一致一次离子剂量和极性比较。

01项目内容

表面质谱

按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,采集区域:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展。

02适用情况

对象与条件

表面质谱:按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,结果用于以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物 化学成像:选择目标离子峰生成二维分布图,定位微量污染、添加剂、腐蚀产物和相区,测量位置按以下方式布置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展 检测对象:洁净金属表面、防护涂层、腐蚀区和带局部残留的处理件 测量位置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展 数据判读:以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物

03结果解释

需要注意的限制

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件;整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行 金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率,并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。 金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果对应实际收到的样品、采用的二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS条件和数据处理方法;样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明;整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施

技术说明

检测时需要注意什么

实施流程

1. 根据外观图建立污染区、腐蚀区和基准区坐标;2. 选择正负离子模式、质量范围和静态剂量;3. 采集表面全谱并锁定特征离子;4. 形成目标离子二维分布并比较各位置的峰强与同位素模式;5. 交付原始质谱、离子图、峰归属和位置索引

基质效应

二次离子产额受基体和化学环境影响,信号强度用于同基体对比或经标准样校准的定量,样品资料:登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象。

质量分辨

同量异位离子和分子碎片通过高质量分辨、同位素模式与候选峰联合识别,测量位置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展。

静态剂量

表面分子信息采用低一次离子剂量,深度分析则记录溅射束、循环和分析束剂量,对照数据:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布。

02

适用产品与样品

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品和常见问题

  • 表面质谱:按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,结果用于以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物
  • 化学成像:选择目标离子峰生成二维分布图,定位微量污染、添加剂、腐蚀产物和相区,测量位置按以下方式布置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展
  • 检测对象:洁净金属表面、防护涂层、腐蚀区和带局部残留的处理件
  • 测量位置:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展
  • 数据判读:以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物
03

送样前需要准备什么

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    样品形式:洁净金属表面、防护涂层、腐蚀区和带局部残留的处理件

  2. 02

    制样与装夹:避免触碰分析面,使用显微坐标标出污染、腐蚀和相邻基准位置

  3. 03

    随样资料:登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象

  4. 04

    对照样品:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布

  5. 05

    位置记录:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展

准备资料样品和资料要求

样品形式:洁净金属表面、防护涂层、腐蚀区和带局部残留的处理件 制样与装夹:避免触碰分析面,使用显微坐标标出污染、腐蚀和相邻基准位置 随样资料:登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象 对照样品:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布 位置记录:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展

项目结果本页列出的结果内容

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS技术报告及主要结论 金属表面TOF-SIMS质谱、污染离子图、峰归属和区域对照 原始资料:表面质谱数据;登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象 位置资料:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展 对照资料:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布

04

检测项目

01

表面质谱

按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,采集区域:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展。

02

化学成像

选择目标离子峰生成二维分布图,定位微量污染、添加剂、腐蚀产物和相区,对照组合:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布。

03

同位素追踪

根据同位素质量差和丰度比观察标记物扩散、交换反应或来源差异,样品资料:登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象。

04

正常异常对照

在未失效区和异常区使用一致剂量、质量范围和视场,比较特征离子峰及分布,数据判读:SIMS信号受基质效应影响,同类表面按一致一次离子剂量和极性比较。

05

基质效应

二次离子产额受基体和化学环境影响,信号强度用于同基体对比或经标准样校准的定量,并结合SIMS信号受基质效应影响,同类表面按一致一次离子剂量和极性比较。

05

检测方法和流程

受理前需要确认什么受理前需确认对象、样品状态、方法适用性和实施条件;具体检测范围、进度与报告要求以双方确认的方案为准。
06

检测标准和方法

以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定,需结合对象、条件和委托要求确认。

1 项标准共列出 1 项标准与方法。

共 1 项

GB/T 41064-2021中国标准表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法GB/T 41064-2021用于金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS的表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法项目实施与数据记录。国家标准化管理委员会 · 现行 · 查看发布机构来源
07

报告和检测数据

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS技术报告及主要结论
金属表面TOF-SIMS质谱、污染离子图、峰归属和区域对照
原始资料:表面质谱数据;登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象
位置资料:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展
对照资料:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布
常见报告用途
以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物金属表面与防护涂层数据积累:登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象复测与取样导航:表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展工艺与状态比较:比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布
检测结果说明

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件;整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率,并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。

金属表面与防护涂层二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS结果对应实际收到的样品、采用的二次离子质谱 SIMS/TOF-SIMS条件和数据处理方法;样品或参数改变后按新条件复核可比性

仪器测试交付测量数据和技术说明;整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施

08

常见问题

01金属表面与防护涂层的表面质谱结果项有哪些?

按飞行时间分离二次离子并采集正、负离子全谱,识别元素、同位素、分子碎片及特征簇离子,以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物。

02金属表面与防护涂层的表面质谱检测对象包括哪些样品?

洁净金属表面、防护涂层、腐蚀区和带局部残留的处理件,避免触碰分析面,使用显微坐标标出污染、腐蚀和相邻基准位置。

03金属表面与防护涂层的表面质谱样品状态怎样处理?

避免触碰分析面,使用显微坐标标出污染、腐蚀和相邻基准位置,登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象。

04金属表面与防护涂层的表面质谱样品间怎样做对比?

比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布,一次离子、剂量、极性、质量范围、视场和溅射循环保持一致。

05金属表面与防护涂层的表面质谱测区范围怎样记录?

表面质谱与离子成像围绕污染源、腐蚀边缘和均匀涂层区开展,避免触碰分析面,使用显微坐标标出污染、腐蚀和相邻基准位置。

06金属表面与防护涂层的表面质谱测量质量怎样评价?

SIMS信号受基质效应影响,同类表面按一致一次离子剂量和极性比较,一次离子、剂量、极性、质量范围、视场和溅射循环保持一致。

07金属表面与防护涂层的表面质谱报告附件包含什么?

金属表面TOF-SIMS质谱、污染离子图、峰归属和区域对照,登记牌号、表面处理、清洗、涂层、服役环境、包装和异常现象。

08金属表面与防护涂层的表面质谱如何用于产品评价?

以高表面灵敏度识别金属表面的微量污染、添加剂残留和腐蚀产物,比较处理前后、腐蚀区与基准区或不同供应批次的特征离子峰和分布。

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