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仪器分析

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM

Focused Ion Beam SEM (FIB-SEM) — Powders, Particles & Porous Materials

重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接,其中按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态。颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配。

检测内容
连续切片三维 · 定点截面
适用对象
连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接 · 定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,测量位置按以下方式布置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
方法标准
JY/T 0583-2020
报告交付
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论 · 连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计
项目受理登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
过程质控记录检测条件并审核原始数据
报告交付交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM主要检测连续切片三维、定点截面,服务对象包括连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接、定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,覆盖来样登记、检测实施和报告交付。

01核心检测项目

连续切片三维

按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,采集区域:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。

02适用产品与样品

连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接

定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,测量位置按以下方式布置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络

03委托资料与样品

样品、目标参数和报告用途

样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域

04报告与交付内容

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM检测报告 + 检测数据与图表

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论

技术说明

项目技术要点

实施流程

1. 用SEM全貌图选定颗粒或孔网体积并建立切片基准;2. 沉积保护层,开槽后调整切片面与目标结构的夹角;3. 按固定间距交替离子铣削和电子成像;4. 配准切片序列,分割孔隙、颗粒基体和第二相;5. 输出三维模型、切片动画、尺寸统计和FIB参数

离子损伤

高能离子会造成非晶层、注入和材料混合,精细结构使用低电压终抛降低影响,样品资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。

帘幕控制

表面起伏和材料溅射率差异会产生帘幕,保护层、摆动切割和低束流共同改善,测量位置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。

再沉积

深槽和高深宽比结构容易再沉积,切割几何与清洁方向按目标界面调整,对照数据:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。

坐标保真

目标点与最终截面的相对位置通过多倍率导航图、基准标记和切片序列保存,结果解释:颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配。

02

适用产品与样品

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品与技术问题

  • 连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接
  • 定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,测量位置按以下方式布置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
  • 检测对象:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域
  • 测量位置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
  • 数据判读:重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接
03

样品与委托资料

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域

  2. 02

    制样与装夹:先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向

  3. 03

    随样资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图

  4. 04

    对照样品:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布

  5. 05

    位置记录:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络

所需样品量样品量与制样要求

样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域。样品量包含制样损耗、平行样和留样需求。

检测周期项目周期与交付日期

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM列明样品、项目、方法、开始时间与报告交付日期,并同步安排复杂前处理和多模块测试。

报告类型粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM检测报告 · 检测数据与图表 · 测试条件与质控记录

主要提供粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论、连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计,其他数据和附件在委托单中列明。

实施方式实验室来样检测

收样、制样、测试、数据复核和报告输出由项目负责人统一衔接。

04

检测项目

01

连续切片三维

按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,采集区域:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。

02

定点截面

依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,对照组合:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。

03

离子束抛光

采用由高到低的束流精修截面,降低帘幕、再沉积和表面损伤,样品资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。

04

截面成分

在新鲜截面联用BSE或EDS记录层序、元素分布和局部反应产物,数据判读:颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配。

05

失效定位

将电性、声学、光学或表面异常坐标转移到FIB视场,逐层追踪缺陷源,应用方向:重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接。

05

检测方法与实施流程

现有设备和检测能力粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM所需的检测、制样、质量控制和数据分析条件齐备,受理连续切片三维、定点截面。
01

检测需求

围绕粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM列明样品、目标参数、方法标准和报告用途。

02

样品登记

样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域

03

完成前处理或制样

根据粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM和连续切片三维、定点截面的测试条件处理样品。

04

完成仪器测试

使用粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM按规定参数完成连续切片三维、定点截面和过程质量控制。

05

复核检测数据

重点检查连续切片三维、定点截面对应的图谱、曲线、图像或数据表。

06

交付报告和附件

提供粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论、连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计及约定附件。

06

标准与方法依据

以下列出粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM采用的正式标准与执行依据,包含标准编号、适用项目和发布来源。

1 项标准共列出 1 项标准与方法。

共 1 项

JY/T 0583-2020中国标准聚焦离子束系统分析方法通则JY/T 0583-2020用于粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM的聚焦离子束系统分析方法通则项目实施与数据记录。中华人民共和国教育部 · 现行/Published · 查看发布机构来源
07

报告与交付内容

粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM检测报告检测数据与图表测试条件与质控记录约定附件
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论
连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计
原始资料:连续切片三维数据;提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图
位置资料:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
对照资料:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布
常见报告用途
重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接粉末、颗粒与多孔材料数据积累:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图复测与取样导航:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络工艺与状态比较:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布
报告与结果说明

报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。

报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。

样品、批次、工况或标准发生变化时,按新条件开展补充检测。

报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本,相关要求可在需求表中注明。
08

常见问题

01粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维能量化哪些参数?

按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接。

02粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维哪些样品材料适合送检?

固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域,先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向。

03粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维装夹前怎样制备样品?

先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向,提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。

04粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维对照测量怎么安排?

比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布,保护、束流阶梯、切片间距和低电压终抛保持一致。

05粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维测点如何编号?

连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络,先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向。

06粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维质量检查包括什么?

颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配,保护、束流阶梯、切片间距和低电压终抛保持一致。

07粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维报告结果怎样呈现?

连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计,提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。

08粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维数据可用于哪些决策?

重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接,比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。

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