检测范围
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM主要检测连续切片三维、定点截面,服务对象包括连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接、定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,覆盖来样登记、检测实施和报告交付。
连续切片三维
按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,采集区域:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。
连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接
定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,测量位置按以下方式布置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
样品、目标参数和报告用途
样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM检测报告 + 检测数据与图表
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论
项目技术要点
实施流程
1. 用SEM全貌图选定颗粒或孔网体积并建立切片基准;2. 沉积保护层,开槽后调整切片面与目标结构的夹角;3. 按固定间距交替离子铣削和电子成像;4. 配准切片序列,分割孔隙、颗粒基体和第二相;5. 输出三维模型、切片动画、尺寸统计和FIB参数
离子损伤
高能离子会造成非晶层、注入和材料混合,精细结构使用低电压终抛降低影响,样品资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。
帘幕控制
表面起伏和材料溅射率差异会产生帘幕,保护层、摆动切割和低束流共同改善,测量位置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。
再沉积
深槽和高深宽比结构容易再沉积,切割几何与清洁方向按目标界面调整,对照数据:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。
坐标保真
目标点与最终截面的相对位置通过多倍率导航图、基准标记和切片序列保存,结果解释:颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配。
适用产品与样品
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品与技术问题
- 连续切片三维:按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,结果用于重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接
- 定点截面:依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,测量位置按以下方式布置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
- 检测对象:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域
- 测量位置:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
- 数据判读:重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接
样品与委托资料
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域
- 02
制样与装夹:先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向
- 03
随样资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图
- 04
对照样品:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布
- 05
位置记录:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络
样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域。样品量包含制样损耗、平行样和留样需求。
粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM列明样品、项目、方法、开始时间与报告交付日期,并同步安排复杂前处理和多模块测试。
主要提供粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论、连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计,其他数据和附件在委托单中列明。
收样、制样、测试、数据复核和报告输出由项目负责人统一衔接。
检测项目
连续切片三维
按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,采集区域:连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络。
定点截面
依据表面标记或失效坐标沉积保护层后开槽,暴露焊点、薄膜、颗粒或器件内部截面,对照组合:比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。
离子束抛光
采用由高到低的束流精修截面,降低帘幕、再沉积和表面损伤,样品资料:提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。
截面成分
在新鲜截面联用BSE或EDS记录层序、元素分布和局部反应产物,数据判读:颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配。
失效定位
将电性、声学、光学或表面异常坐标转移到FIB视场,逐层追踪缺陷源,应用方向:重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接。
检测方法与实施流程
检测需求
围绕粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM列明样品、目标参数、方法标准和报告用途。
样品登记
样品形式:固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域
完成前处理或制样
根据粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM和连续切片三维、定点截面的测试条件处理样品。
完成仪器测试
使用粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM按规定参数完成连续切片三维、定点截面和过程质量控制。
复核检测数据
重点检查连续切片三维、定点截面对应的图谱、曲线、图像或数据表。
交付报告和附件
提供粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM技术报告及主要结论、连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计及约定附件。
标准与方法依据
以下列出粉末、颗粒与多孔材料聚焦离子束 FIB-SEM采用的正式标准与执行依据,包含标准编号、适用项目和发布来源。
共 1 项
报告与交付内容
报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。
报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。
样品、批次、工况或标准发生变化时,按新条件开展补充检测。
报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本,相关要求可在需求表中注明。常见问题
01粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维能量化哪些参数?
按固定切片间距交替铣削与成像,重构孔隙、相区和裂纹的三维形态,重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接。
02粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维哪些样品材料适合送检?
固定在基底上的单颗粒、颗粒镶嵌体和多孔材料目标区域,先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向。
03粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维装夹前怎样制备样品?
先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向,提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。
04粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维对照测量怎么安排?
比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布,保护、束流阶梯、切片间距和低电压终抛保持一致。
05粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维测点如何编号?
连续切片体积覆盖完整颗粒或一段具有代表性的孔壁网络,先以SEM确定颗粒或孔壁坐标,再沉积保护层并规划连续切片方向。
06粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维质量检查包括什么?
颗粒边缘与镶嵌树脂在分割中分开,切片间距与最小目标特征相匹配,保护、束流阶梯、切片间距和低电压终抛保持一致。
07粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维报告结果怎样呈现?
连续切片序列、颗粒或孔隙三维重构、分割数据及体积统计,提供颗粒来源、粒级、烧结或成型条件、目标孔隙尺度和导航图。
08粉末、颗粒与多孔材料的连续切片三维数据可用于哪些决策?
重构颗粒内部孔隙、第二相和裂纹的三维形态及相互连接,比较代表颗粒、团聚区或不同成型条件下的内部孔隙和相区分布。




