标准适用范围
ISO 15472:2010 Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales介绍标准的适用对象、有效版本、执行条件、关键步骤和结果用途。
依据ISO 15472
依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺
X射线光电子能谱结合能测量的能量准确度和仪器状态核查
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品
样品、现象、标准版本、已有数据和结果用途
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品
标准技术要求 + 检测条件记录
参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源
项目技术要点
标准用途
ISO 15472:2010《Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales》用于XPS结合能标尺校准。标准在分析服务中对应X射线光电子能谱结合能测量的能量准确度和仪器状态核查，方法记录直接关联样品编号、设备参数、原始数据和报告结果。
关联分析项目
- [TOF-SIMS和XPS表面分析方法选择](/knowledge/tof-sims-vs-xps-surface-analysis)：TOF-SIMS和XPS表面分析方法选择采用ISO 15472:2010《Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales》开展XPS结合能标尺校准，作为关联技术方法记录参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源。
适用样品
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品。样品登记包含名称、材料或基质、型号、批次、取样位置、数量、状态和保存条件；对比分析将正常样、异常样、来源样和留样分别编号。
设备与配置
X射线光电子能谱仪、参考材料、荷电中和系统和能量校准软件。设备记录包含主机、关键附件、校准材料、方法程序和数据系统版本，测量条件与原始文件使用同一项目编号。
实施步骤
依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺。实施顺序写入项目记录，样品前处理、测量位置、重复次数和质量控制样与对应数据逐项关联。
原始记录
原始记录包括参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源。数据文件保留采集时间、设备状态、方法参数、样品顺序和处理过程；图谱、曲线、图像和计算表通过样品编号相互对应。
适用对象与应用场景
ISO 15472:2010 Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales适用于以下对象、测试目的和应用条件。
适用产品与技术问题
- X射线光电子能谱结合能测量的能量准确度和仪器状态核查
- 标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品
- 依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺
- 参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源
委托资料与样品要求
提交标准编号和版本、产品或材料信息、样品状态、判定依据及报告用途。
- 01
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品
- 02
TOF-SIMS和XPS表面分析方法选择所涉及的代表性样品、对照样和质量控制样
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品。适用版本、产品要求、现象记录和已有数据用于匹配标准与验证方案。
ISO 15472:2010 Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales项目列明技术问题、标准版本、样品量、执行条件与结果交付日期。
主要提供参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源、参考样、采集参数、峰位拟合、校准前后偏差、能量标尺状态和样品结合能结果，其他数据和附件在委托单中列明。
技术问题、适用标准和现有资料对应至检测项目，并完成结果复核。
主要技术要求
依据ISO 15472
依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺
无损检测
参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源
质量控制
参考样、采集参数、峰位拟合、校准前后偏差、能量标尺状态和样品结合能结果
标准实施要点
应用场景
ISO 15472:2010 Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales覆盖研发、质量控制、验收、认证支持和争议核查。
标准版本
列明标准编号、年份、修订件、引用文件以及合同或产品规范要求。
对象与样品
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品
确定执行条件
把依据ISO 15472、无损检测落实为设备、环境、步骤、参数、质量控制和记录要求。
完成检测与复核
按规定条件实施测试，复核原始数据、计算过程、异常记录和判定依据。
交付结果和说明
提供参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源、参考样、采集参数、峰位拟合、校准前后偏差、能量标尺状态和样品结合能结果、标准版本、测试条件和相关记录。
版本与关联标准
International Organization for Standardization发布ISO 15472:2010《Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales》。
标准编号：ISO 15472:2010；标准名称：Surface chemical analysis - X-ray photoelectron spectrometers - Calibration of energy scales；发布机构：International Organization for Standardization；状态：现行。
International Organization for Standardization标准详情页ISO 15472:2010规定的技术项目和记录内容。
技术项目：XPS结合能标尺校准；适用对象：X射线光电子能谱结合能测量的能量准确度和仪器状态核查；数据记录：参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源。
International Organization for Standardization标准详情页报告与交付内容
报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。
报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。
样品、批次、工况或标准发生变化时，按新条件开展补充检测。
报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本，相关要求可在需求表中注明。标准应用常见问题
01ISO 15472:2010规定什么内容？
ISO 15472:2010用于XPS结合能标尺校准，技术内容包括样品、设备、实施步骤、数据处理和报告记录。 依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺
02ISO 15472:2010适用哪些样品？
标准规定的高纯度参考材料以及待测固体、薄膜或粉末样品，样品编号与前处理、测量位置和原始数据逐项对应。 试样和设备配置为X射线光电子能谱仪、参考材料、荷电中和系统和能量校准软件。
03ISO 15472:2010记录哪些数据？
项目记录参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源，并保留采集参数、质量控制结果和数据处理过程。 实施过程为依据ISO 15472:2010采集参考峰，比较规定结合能，计算能量偏差并调整或记录能量标尺。
04ISO 15472:2010报告包含哪些内容？
报告包含参考样、采集参数、峰位拟合、校准前后偏差、能量标尺状态和样品结合能结果，结果表与样品编号、方法条件及原始记录相互对应。 报告将参考材料、峰位、规定值、测得值、能量偏差、重复性、通能和X射线源与样品编号、方法条件和质量控制记录对应。