检测范围
通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览，其中在宽能区扫描表面元素并排查污染峰，给出可检元素及相对原子分数。结合能校准基准峰和中和参数随原始谱保存，吸附碳与工艺元素分别标注。
宽能区全谱
在宽结合能范围采集XPS全谱，识别分析深度内可检元素及污染峰。
对象与条件
宽能区全谱：在宽结合能范围采集XPS全谱，识别分析深度内可检元素及污染峰，结果用于通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览 元素定性：根据峰位、伴峰和能量标定完成元素归属，并列出检出元素，测量位置按以下方式布置：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标 检测对象：洁净片材、粉体压片、涂层和可真空固定的器件表面 测量位置：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标 数据判读：通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览
需要注意的限制
XPS全谱与元素定性结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认 XPS全谱与元素定性结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。 XPS全谱与元素定性结果对应实际收到的样品、采用的X射线光电子能谱 XPS条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
检测时需要注意什么
实施流程
1. 登记表面履历并确定宽能区全谱范围；2. 完成真空装样、中和设置和能量标定检查；3. 采集宽能区全谱并建立峰位与元素对应表；4. 扣除背景，完成元素识别和相对原子分数计算；5. 交付全谱、峰表、组成和荷电校正记录
表面状态
包装、清洗和空气暴露时间随全谱记录，用于解释最外层组成差异。
能量与荷电
能量零点、中和参数和校正基准随峰表保存。
定量口径
灵敏度因子、透过函数和背景处理用于计算可检元素的相对原子分数。
适用产品与样品
XPS全谱与元素定性适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 宽能区全谱：在宽结合能范围采集XPS全谱，识别分析深度内可检元素及污染峰，结果用于通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览
- 元素定性：根据峰位、伴峰和能量标定完成元素归属，并列出检出元素，测量位置按以下方式布置：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标
- 检测对象：洁净片材、粉体压片、涂层和可真空固定的器件表面
- 测量位置：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标
- 数据判读：通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
样品形式：洁净片材、粉体压片、涂层和可真空固定的器件表面
- 02
制样与装夹：减少触碰和空气暴露，绝缘样牢固固定并建立稳定的中和条件
- 03
随样资料：记录材料组成、表面处理、清洗、包装、暴露时间、关注元素和样品批次
- 04
对照样品：在同一通能和能量校正口径下比较不同表面或工艺状态的元素组成
- 05
位置记录：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标
样品形式：洁净片材、粉体压片、涂层和可真空固定的器件表面 制样与装夹：减少触碰和空气暴露，绝缘样牢固固定并建立稳定的中和条件 随样资料：记录材料组成、表面处理、清洗、包装、暴露时间、关注元素和样品批次 对照样品：在同一通能和能量校正口径下比较不同表面或工艺状态的元素组成 位置记录：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标
XPS全谱与元素定性技术报告及主要结论 XPS宽能区全谱、元素定性、相对原子分数与荷电校正记录 原始资料：全谱定性数据；记录材料组成、表面处理、清洗、包装、暴露时间、关注元素和样品批次 位置资料：分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标 对照资料：在同一通能和能量校正口径下比较不同表面或工艺状态的元素组成
检测项目
宽能区全谱
在宽结合能范围采集XPS全谱，识别分析深度内可检元素及污染峰。
元素定性
根据峰位、伴峰和能量标定完成元素归属，并列出检出元素。
相对原子分数
采用灵敏度因子和透过函数计算可检元素的相对原子分数。
荷电校正
记录中和设置与结合能校正基准，使不同样品的全谱峰位具有统一口径。
表面组成对照
在相同通能与采集范围下比较批次、处理状态或不同测点的表面元素组成。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
当前显示 6 项，共 8 项
XPS全谱与元素定性的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 15470:2017《XPS 仪器主要性能参数描述》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 15470:2017—XPS 仪器主要性能参数描述XPS全谱与元素定性的方法选择、样品处理、仪器条件、质量控制和结果表达应与采用标准的适用范围保持一致。
ISO 15472:2010《XPS 结合能标尺校准》可作为该分析方法的质量要求参考，项目按客户指定版本和实验室确认结果执行。
ISO 15472:2010—XPS 结合能标尺校准报告和检测数据
XPS全谱与元素定性结果结果对应本次称样、取样和基体，检出限以下按方法能力表述；不同基体和范围分别完成校准模型确认
XPS全谱与元素定性结果报告列明各技术的信息深度和横向分辨率，并记录离子刻蚀、表面清洁、测试时间和模型拟合对结果的影响。
XPS全谱与元素定性结果对应实际收到的样品、采用的X射线光电子能谱 XPS条件和数据处理方法；样品或参数改变后按新条件复核可比性
仪器测试交付测量数据和技术说明；整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施
常见问题
01XPS全谱与元素定性的全谱定性核心数据有哪些？
在宽能区扫描表面元素并排查污染峰，输出可检元素清单、主要峰位和相对原子分数，形成表面组成概览。
02XPS全谱与元素定性的全谱定性哪些样品可以测？
洁净片材、粉体压片、涂层和可真空固定的器件表面，减少触碰和空气暴露，绝缘样牢固固定并建立稳定的中和条件。
03XPS全谱与元素定性的全谱定性送样前怎样处理？
减少触碰和空气暴露，绝缘样牢固固定并建立稳定的中和条件，记录材料组成、表面处理、清洗、包装、暴露时间、关注元素和样品批次。
04XPS全谱与元素定性的全谱定性批次怎样对比？
在同一通能和能量校正口径下比较不同表面或工艺状态的元素组成，能量标定、通能、峰拟合、灵敏度因子和荷电校正保持一致。
05XPS全谱与元素定性的全谱定性位置记录怎么留？
分析点位于完整代表表面，污染点或器件局部另设清晰坐标，减少触碰和空气暴露，绝缘样牢固固定并建立稳定的中和条件。
06XPS全谱与元素定性的全谱定性质量记录包含什么？
结合能校准基准峰和中和参数随原始谱保存，吸附碳与工艺元素分别标注，能量标定、通能、峰拟合、灵敏度因子和荷电校正保持一致。
07XPS全谱与元素定性的全谱定性图表会展示什么？
XPS宽能区全谱、元素定性、相对原子分数与荷电校正记录，记录材料组成、表面处理、清洗、包装、暴露时间、关注元素和样品批次。
08XPS全谱与元素定性的全谱定性怎样用于失效分析？
通过XPS全谱识别表面可检元素，并计算相对原子分数形成组成概览，在同一通能和能量校正口径下比较不同表面或工艺状态的元素组成。