检测范围
对HEPA或ULPA过滤器建立稳定上游气溶胶挑战浓度，使用光度计或粒子计数器扫描滤材、边框、密封和安装接口并定位泄漏；恢复时间测试在空态或静态、目标等级适用的非单向流洁净区开展，通过受控发尘记录粒子衰减曲线并在试验后清除人工气溶胶残留。
上游气溶胶
选择系统相容气溶胶并检查上游浓度、均匀性和稳定性，记录注入位置。
对象与条件
洁净室末端HEPA和ULPA过滤器 洁净工作台、隔离器和局部净化装置 新装、更换、维修及周期性过滤器检漏 空态或静态、目标等级适用的非单向流洁净区人工发尘恢复时间测试
需要注意的限制
过滤器检漏不等同于整室洁净度；挑战气溶胶受工艺兼容性约束，无法形成均匀上游浓度时结论需注明限制 ISO 14644-3:2019数据比较采用相同基质、目标物、采样方式、前处理、培养或仪器条件，并在报告中注明方法适用范围 ISO 14644-3:2019批次或现场评价按照约定采样方案实施，样品批次、点位、时段、保存和流转信息纳入追溯记录 ISO 14644-3:2019用于监管、司法、招投标或认证资料时，项目文件列明能力范围、抽样主体、见证要求、判定规则、签章和报告形式
检测时需要注意什么
实施流程
1. 核对过滤器型号、布局、设计风量、允许气溶胶和测试接口，完成系统清洁与稳定运行；2. 校准发生器、光度计或粒子计数器，建立并验证各过滤器上游挑战浓度；3. 逐台扫描滤材及密封，标记响应位置；修补后在同条件下完成复测；4. 在空态或静态、目标等级适用的非单向流洁净区均匀发尘，停止发尘后连续记录浓度衰减；ISO 8、9级不计算100:1恢复时间
上游均匀性
注入点与风管混合距离影响浓度分布，多位置测量确认上游具有可接受的一致性。
扫描参数
探头距离、扫描速度、有效宽度和轨迹重叠固定，边框与密封单独缓慢扫描。
恢复适用与残留控制
100:1恢复测试在空态或静态用于目标等级适用的非单向流洁净区；单向流洁净区和ISO 8、9级不采用该100:1评价。专项测试单列粒子变化过程、起止浓度和判定指标。试验结束后持续净化并核查人工气溶胶残留。
适用产品与样品
过滤器检漏与自净时间适用于以下产品、样品及技术问题。
适用产品和常见问题
- 洁净室末端HEPA和ULPA过滤器
- 洁净工作台、隔离器和局部净化装置
- 新装、更换、维修及周期性过滤器检漏
- 空态或静态、目标等级适用的非单向流洁净区人工发尘恢复时间测试
送样前需要准备什么
送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。
- 01
每台过滤器上游挑战浓度与下游扫描数据
- 02
滤材、边框、密封胶和安装接口扫描轨迹
- 03
泄漏位置、修补措施和修补后复测记录
- 04
发尘前后规定粒径的浓度衰减时间序列
每台过滤器上游挑战浓度与下游扫描数据 滤材、边框、密封胶和安装接口扫描轨迹 泄漏位置、修补措施和修补后复测记录 发尘前后规定粒径的浓度衰减时间序列
过滤器检漏与自净时间检测报告 逐台过滤器上游浓度、扫描轨迹和检漏结果 泄漏位置图、修补内容及复测数据 粒子浓度衰减曲线、自净时间和运行状态记录
检测项目
上游气溶胶
选择系统相容气溶胶并检查上游浓度、均匀性和稳定性，记录注入位置。
下游扫描检漏
探头按规定距离、速度和重叠率扫描滤材全表面及周边密封，记录穿透响应。
泄漏定位复测
对响应点细扫定位，修补后按相同上游浓度和扫描条件复测。
自净初始浓度
在安全相容条件下均匀发尘，使房间达到规定初始粒子浓度并充分混合。
恢复时间
在空态或静态、目标等级适用的非单向流洁净区连续记录粒子浓度衰减并计算100:1恢复时间；ISO 8、9级不列入100:1恢复评价。
检测方法和流程
检测标准和方法
以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定，需结合对象、条件和委托要求确认。
共 2 项
ISO 14644-1规定按空气悬浮粒子浓度划分洁净室和洁净区空气洁净度等级
分级基于规定采样位置使用光散射粒子计数器测定0.1至5微米范围的累计粒子浓度，不用于说明粒子的生物、化学或放射性质。
ISO 14644-1:2015报告和检测数据
过滤器检漏不等同于整室洁净度；挑战气溶胶受工艺兼容性约束，无法形成均匀上游浓度时结论需注明限制
ISO 14644-3:2019数据比较采用相同基质、目标物、采样方式、前处理、培养或仪器条件，并在报告中注明方法适用范围
ISO 14644-3:2019批次或现场评价按照约定采样方案实施，样品批次、点位、时段、保存和流转信息纳入追溯记录
ISO 14644-3:2019用于监管、司法、招投标或认证资料时，项目文件列明能力范围、抽样主体、见证要求、判定规则、签章和报告形式
常见问题
01检漏前为什么要验证上游挑战浓度和均匀性？
下游穿透率由上游挑战浓度计算，稳定且均匀的上游浓度也保证整张滤材获得足够挑战。
02滤材、边框和安装接口分别怎样扫描？
扫描滤材全部表面、滤材与框架连接、边框、密封胶和安装接口，轨迹保持重叠。
03扫描探头速度怎样匹配仪器响应时间？
扫描速度按方法和仪器响应时间设定，边框、接缝及出现响应的位置降低速度细扫。
04上游气溶胶分布不均匀时怎样调整注入点？
调整气溶胶注入点、混合距离或系统风量，多位置复测上游浓度稳定后开展下游扫描。
05泄漏位置、面积和最大响应怎样记录？
在过滤器图上标注坐标、面积和最大响应，记录修补材料、时间及修补后相同条件复测结果。
06哪些洁净区适合开展100:1恢复时间测试？
100:1恢复测试在空态或静态用于目标等级适用的非单向流洁净区；单向流洁净区和ISO 8、9级不采用该100:1评价，专项测试单列评价方法、起止浓度和判定指标。
07恢复曲线的起点和终点怎样定义？
按预定目标粒径浓度或初始浓度的规定衰减比例确定终点，起止数值和计算公式写入报告。
08人工气溶胶残留怎样清除和核查？
发尘停止后保持洁净系统持续运行，按固定点位跟踪粒子回落，并检查工艺表面和房间本底恢复记录。