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仪器分析

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜

Confocal & 3D Optical Microscopy — Electronics, Batteries & Composites

无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化,其中按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积。透明封装、高反光金属和软胶界面分别优化照明,颜色与反射差异结合成分数据解释。

检测内容
三维表面重建 · 高度与深度
适用对象
面积与体积:按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积,结果用于无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化 · 三维表面重建:沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,测量位置按以下方式布置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准
方法标准
JY/T 0586-2020
报告交付
电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜技术报告及主要结论 · 交付器件或电极三维图、缺陷尺寸、局部面积体积、坐标图和对照结果
项目受理登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
过程质控记录检测条件并审核原始数据
报告交付交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜主要检测三维表面重建、高度与深度,服务对象包括面积与体积:按基准面分割缺损或堆积区域、三维表面重建:沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,测量位置按以下方式布置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹等,覆盖来样登记、检测实施和报告交付。

01核心检测项目

三维表面重建

沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,采集区域:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准。

02适用产品与样品

面积与体积:按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积,结果用于无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化

三维表面重建:沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,测量位置按以下方式布置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准

03委托资料与样品

样品、目标参数和报告用途

样品形式:器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面

04报告与交付内容

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜检测报告 + 检测数据与图表

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜技术报告及主要结论

技术说明

项目技术要点

实施流程

1. 把电性或外观异常位置转换为可重复的光学测区坐标;2. 选择物镜、照明、Z步距和覆盖器件高度的扫描范围;3. 采集正常区与异常区的真彩、反射和三维图像;4. 测量台阶、翘曲、裂纹、缺损面积和材料转移体积;5. 将三维参数与器件层序、循环或载荷状态对应整理

光学可测性

高反光、透明或陡峭表面会产生缺失点,采用适合的照明与曝光组合提高有效数据比例,样品资料:记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件。

基准面

台阶和体积计算使用未磨损区或设计平面建立基准,选区轮廓保留在报告图中,测量位置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准。

滤波设置

粗糙度、波纹度和形状分量的分离依赖截止波长,批次比较采用相同滤波参数,对照数据:对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积。

拼接误差

大视场拼接时检查重叠区高度连续性,统计区域采用连续有效高度点并标明边缘畸变与异常反射点,结果解释:透明封装、高反光金属和软胶界面分别优化照明,颜色与反射差异结合成分数据解释。

02

适用产品与样品

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品与技术问题

  • 面积与体积:按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积,结果用于无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化
  • 三维表面重建:沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,测量位置按以下方式布置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准
  • 检测对象:器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面
  • 测量位置:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准
  • 数据判读:无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化
03

样品与委托资料

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    样品形式:器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面

  2. 02

    制样与装夹:按故障坐标固定器件或截面,清除浮尘并保留原始裂纹、压痕和脱粘边缘

  3. 03

    随样资料:记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件

  4. 04

    对照样品:对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积

  5. 05

    位置记录:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准

所需样品量样品量与制样要求

样品形式:器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面。样品量包含制样损耗、平行样和留样需求。

检测周期项目周期与交付日期

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜列明样品、项目、方法、开始时间与报告交付日期,并同步安排复杂前处理和多模块测试。

报告类型电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜检测报告 · 检测数据与图表 · 测试条件与质控记录

主要提供电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜技术报告及主要结论、器件或电极三维图、缺陷尺寸、局部面积体积、坐标图和对照结果,其他数据和附件在委托单中列明。

实施方式实验室来样检测

收样、制样、测试、数据复核和报告输出由项目负责人统一衔接。

04

检测项目

01

三维表面重建

沿Z轴采集光学切片并合成高度场,展示磨痕、孔洞、台阶和颗粒表面,采集区域:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准。

02

高度与深度

提取指定截面测量台阶、沟槽、凹坑、凸起和涂层局部高度,对照组合:对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积。

03

面积与体积

按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积,样品资料:记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件。

04

真彩与反射图

同步保存彩色显微图和反射强度图,关联表面颜色、污染与高度变化,数据判读:透明封装、高反光金属和软胶界面分别优化照明,颜色与反射差异结合成分数据解释。

05

多测区比较

按统一物镜、像素和处理参数比较不同位置、工艺或批次的三维参数,应用方向:无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化。

05

检测方法与实施流程

现有设备和检测能力电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜所需的检测、制样、质量控制和数据分析条件齐备,受理三维表面重建、高度与深度。
01

检测需求

围绕电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜列明样品、目标参数、方法标准和报告用途。

02

样品登记

样品形式:器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面

03

完成前处理或制样

根据电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜和三维表面重建、高度与深度的测试条件处理样品。

04

完成仪器测试

使用电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜按规定参数完成三维表面重建、高度与深度和过程质量控制。

05

复核检测数据

重点检查三维表面重建、高度与深度对应的图谱、曲线、图像或数据表。

06

交付报告和附件

提供电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜技术报告及主要结论、器件或电极三维图、缺陷尺寸、局部面积体积、坐标图和对照结果及约定附件。

06

标准与方法依据

以下列出电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜采用的正式标准与执行依据,包含标准编号、适用项目和发布来源。

1 项标准共列出 1 项标准与方法。

共 1 项

JY/T 0586-2020中国标准激光扫描共聚焦显微镜分析方法通则JY/T 0586-2020用于电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜的激光扫描共聚焦显微镜分析方法通则项目实施与数据记录。中华人民共和国教育部 · 现行/Published · 查看发布机构来源
07

报告与交付内容

电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜检测报告检测数据与图表测试条件与质控记录约定附件
电子器件、电池与复合材料激光共聚焦与三维显微镜技术报告及主要结论
交付器件或电极三维图、缺陷尺寸、局部面积体积、坐标图和对照结果
原始资料:面积与体积数据;记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件
位置资料:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准
对照资料:对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积
常见报告用途
无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化电子器件、电池与复合材料数据积累:记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件复测与取样导航:视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准工艺与状态比较:对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积
报告与结果说明

报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。

报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。

样品、批次、工况或标准发生变化时,按新条件开展补充检测。

报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本,相关要求可在需求表中注明。
08

常见问题

01电子器件、电池与复合材料的面积与体积能得到哪些参数?

按基准面分割缺损或堆积区域,计算磨损体积、材料转移量和孔洞容积,无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化。

02电子器件、电池与复合材料的面积与体积常见送样形态有哪些?

器件外观面、芯片封装局部、电极涂层、复合材料断面和胶接界面,按故障坐标固定器件或截面,清除浮尘并保留原始裂纹、压痕和脱粘边缘。

03电子器件、电池与复合材料的面积与体积制样时要准备什么?

按故障坐标固定器件或截面,清除浮尘并保留原始裂纹、压痕和脱粘边缘,记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件。

04电子器件、电池与复合材料的面积与体积参照组怎样设置?

对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积,物镜、Z步距、曝光、滤波和选区规则保持一致。

05电子器件、电池与复合材料的面积与体积测区如何选择?

视场覆盖器件功能区、电极裂纹、胶接边缘和相邻完整区域,并与故障坐标配准,按故障坐标固定器件或截面,清除浮尘并保留原始裂纹、压痕和脱粘边缘。

06电子器件、电池与复合材料的面积与体积数据质量如何保证?

透明封装、高反光金属和软胶界面分别优化照明,颜色与反射差异结合成分数据解释,物镜、Z步距、曝光、滤波和选区规则保持一致。

07电子器件、电池与复合材料的面积与体积原始数据文件有哪些?

交付器件或电极三维图、缺陷尺寸、局部面积体积、坐标图和对照结果,记录器件型号、封装层序、电性现象、循环或载荷状态、测区方向和照明条件。

08电子器件、电池与复合材料的面积与体积怎样支持工艺判断?

无接触记录器件、电极和复合界面的三维高度、缺陷尺寸与局部体积变化,对照正常件、异常件及处理后复测件的台阶、翘曲、裂纹和缺损体积。

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