标准适用范围
ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting介绍标准的适用对象、有效版本、执行条件、关键步骤和结果用途。
ISO 16413
ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数
ISO 16413:2020用于薄膜厚度、密度与粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
ISO 16413:2020用于多层膜结构与界面粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
样品、现象、标准版本、已有数据和结果用途
ISO 16413:2020对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置
标准技术要求 + 检测条件记录
ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果
项目技术要点
标准概况
ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》由国际标准化组织发布，适用于薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。
技术应用
- ISO 16413:2020用于薄膜厚度、密度与粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - ISO 16413:2020用于多层膜结构与界面粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - ISO 16413:2020用于晶圆与外延层XRR测量的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - ISO 16413:2020用于XRR拟合与模型不确定度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
相关仪器项目
ISO 16413:2020关联以下仪器测试项目： - [薄膜厚度、密度与粗糙度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/thin-film-thickness-density-and-roughness) - [多层膜结构与界面粗糙度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/multilayer-structure-and-interface-roughness) - [晶圆与外延层XRR测量](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/wafer-and-epitaxial-layer-xrr) - [XRR拟合与模型不确定度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/xrr-fitting-and-model-uncertainty)
方法实施与原始记录
薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度按ISO 16413:2020记录样品与制样信息、仪器型号、测量程序、实际采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。
样品与项目信息
提交样品名称、材质或组成、型号、批次、数量、取样位置和报告用途；标明ISO 16413:2020项目的待测参数、样品状态和已有技术资料；按Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting对应对象完成样品包装、标识、保存和运输；将样品编号与批次、取样位置、前处理记录和报告用途逐项对应。样品编号与测量位置、前处理过程、批次和原始记录保持对应。
数据与质量控制
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting的数据质量控制围绕薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度展开：光谱、图像、曲线或数值结果分别归档，并按ISO 16413:2020关联仪器状态、校准核查、标准样、平行样、重复结果和项目原始数据。
适用对象与应用场景
ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting适用于以下对象、测试目的和应用条件。
适用产品与技术问题
- ISO 16413:2020用于薄膜厚度、密度与粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- ISO 16413:2020用于多层膜结构与界面粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- ISO 16413:2020用于晶圆与外延层XRR测量的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- ISO 16413:2020用于XRR拟合与模型不确定度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- 薄膜厚度、密度与粗糙度的标准方法实施与数据记录
- 多层膜结构与界面粗糙度的标准方法实施与数据记录
- 晶圆与外延层XRR测量的标准方法实施与数据记录
- XRR拟合与模型不确定度的标准方法实施与数据记录
委托资料与样品要求
提交标准编号和版本、产品或材料信息、样品状态、判定依据及报告用途。
- 01
ISO 16413:2020对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置
- 02
薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度对应的代表性样品、平行样、对照样和项目资料
ISO 16413:2020对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置。适用版本、产品要求、现象记录和已有数据用于匹配标准与验证方案。
ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting项目列明技术问题、标准版本、样品量、执行条件与结果交付日期。
主要提供ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果、样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录，其他数据和附件在委托单中列明。
技术问题、适用标准和现有资料对应至检测项目，并完成结果复核。
主要技术要求
ISO 16413
ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数
取样与样品处理
登记样品、制样过程、仪器型号、测量程序和实际采集参数
质量控制
关联校准核查、标准样或对照样、原始图谱、图像、曲线及计算过程
补充质量控制
按ISO 16413:2020整理质量控制、重复结果、数据处理过程和报告记录
标准实施要点
应用场景
ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting覆盖研发、质量控制、验收、认证支持和争议核查。
标准版本
列明标准编号、年份、修订件、引用文件以及合同或产品规范要求。
对象与样品
ISO 16413:2020对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置
确定执行条件
把ISO 16413、取样与样品处理落实为设备、环境、步骤、参数、质量控制和记录要求。
完成检测与复核
按规定条件实施测试，复核原始数据、计算过程、异常记录和判定依据。
交付结果和说明
提供ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果、样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录、标准版本、测试条件和相关记录。
版本与关联标准
ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》由国际标准化组织发布。
标准编号：ISO 16413:2020；标准名称：Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting；发布机构：国际标准化组织。
国际标准化组织报告与交付内容
报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。
报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。
样品、批次、工况或标准发生变化时，按新条件开展补充检测。
报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本，相关要求可在需求表中注明。标准应用常见问题
01ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting包括哪些检测内容？
ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting的主要内容包括ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting需要提供哪些样品和资料？
送样包括ISO 16413:2020对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting采用什么标准和方法？
主要依据为ISO 16413:2020，检测方法包括ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting委托项目单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting报告包含哪些内容？
主要交付ISO 16413:2020《Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 ISO 16413:2020 Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。