本页说明
IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》由国际电工委员会发布，适用于金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。
适用对象与条件
- IEC TR 63258:2021用于金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚的Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films项目实施与数据记录。
- IEC TR 63258:2021用于半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚的Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films项目实施与数据记录。
- 金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚的标准方法实施与数据记录
- 半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚的标准方法实施与数据记录
- IEC TR 63258:2021对应的样品类型、制样过程与测量条件
- IEC TR 63258:2021规定的仪器校准、标准样或对照样质量控制
- IEC TR 63258:2021项目形成的原始图谱、图像、曲线与计算结果
- IEC TR 63258:2021报告中的方法条件、实测数据和结果记录
主要要求与方法
IEC TR 63258
IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》在金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚中按具体对象落实方法步骤和技术参数
取样与样品处理
登记样品、制样过程、仪器型号、测量程序和实际采集参数
质量控制
关联校准核查、标准样或对照样、原始图谱、图像、曲线及计算过程
补充质量控制
按IEC TR 63258:2021整理质量控制、重复结果、数据处理过程和报告记录
方法、条件与注意事项
标准概况
IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》由国际电工委员会发布，适用于金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。
技术应用
- IEC TR 63258:2021用于金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚的Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films项目实施与数据记录。 - IEC TR 63258:2021用于半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚的Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films项目实施与数据记录。
相关仪器项目
IEC TR 63258:2021关联以下仪器测试项目： - [金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚](/services/instrument-testing/surface-interface/ellipsometry-and-optical-film-thickness/ellipsometry-and-optical-film-thickness-metal-surfaces-and-protective-coatin) - [半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚](/services/instrument-testing/surface-interface/ellipsometry-and-optical-film-thickness/ellipsometry-and-optical-film-thickness-semiconductors-films-and-electronic-)
方法实施与原始记录
金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚按IEC TR 63258:2021记录样品与制样信息、仪器型号、测量程序、实际采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。
样品与项目信息
提交样品名称、材质或组成、型号、批次、数量、取样位置和报告用途；标明IEC TR 63258:2021项目的待测参数、样品状态和已有技术资料；按Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films对应对象完成样品包装、标识、保存和运输；将样品编号与批次、取样位置、前处理记录和报告用途逐项对应。样品编号与测量位置、前处理过程、批次和原始记录保持对应。
数据与质量控制
Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films的数据质量控制围绕金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚展开：光谱、图像、曲线或数值结果分别归档，并按IEC TR 63258:2021关联仪器状态、校准核查、标准样、平行样、重复结果和项目原始数据。
报告与交付
IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》实施信息与金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚实测结果；样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录；原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论；IEC TR 63258:2021项目的数据处理、重复结果和标准应用记录。报告标明IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》、实际仪器项目、样品信息、方法条件和实测结果。
官方来源
国际电工委员会发布了IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》，[查看该标准的官方发布记录](https://webstore.iec.ch/en/publication/59663)。
需要结合哪些资料
- IEC TR 63258:2021对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置；金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚对应的代表性样品、平行样、对照样和项目资料
参考依据与来源
IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》由国际电工委员会发布。
标准编号：IEC TR 63258:2021；标准名称：Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films；发布机构：国际电工委员会。
国际电工委员会结果怎样使用
- IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》实施信息与金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚实测结果
- 样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录
- 原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论
- IEC TR 63258:2021项目的数据处理、重复结果和标准应用记录
使用结果时需要结合的事项
- 金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚的方法实施记录；Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films对应的研发与质量控制；IEC TR 63258:2021项目的批次比较与结果复核
标准使用常见问题
01IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films包括哪些检测内容？
IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films的主要内容包括IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》在金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films需要提供哪些样品和资料？
送样包括IEC TR 63258:2021对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films采用什么标准和方法？
主要依据为IEC TR 63258:2021，检测方法包括IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》在金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films报告包含哪些内容？
主要交付IEC TR 63258:2021《Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films》实施信息与金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 IEC TR 63258:2021 Nanotechnologies - A guideline for ellipsometry application to evaluate the thickness of nanoscale films报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于金属表面与防护涂层椭偏与光学膜厚、半导体、薄膜与电子材料椭偏与光学膜厚的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。