标准适用范围
IEC 62047-30:2017 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film介绍标准的适用对象、有效版本、执行条件、关键步骤和结果用途。
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
样品、现象、标准版本、已有数据和结果用途
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。
标准技术要求 + 检测条件记录
保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。
项目技术要点
标准用途
IEC 62047-30:2017《Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film》由国际电工委员会发布。
适用项目与测量内容
- [半导体与光电材料压电、铁电与功能响应](/services/instrument-testing/optical-electrical-magnetic/piezoelectric-ferroelectric-and-functional-response/piezoelectric-ferroelectric-and-functional-response-semiconductor-and-optoel)：半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。 - [薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应](/services/instrument-testing/optical-electrical-magnetic/piezoelectric-ferroelectric-and-functional-response/piezoelectric-ferroelectric-and-functional-response-films-coatings-and-trans)：薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
试样、设备与测量步骤
- 按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。
试样与设备
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。
数据处理与结果
保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。
报告内容
报告给出器件几何、薄膜电极、激励与测量方向、响应曲线和机电参数。
适用对象与应用场景
IEC 62047-30:2017 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film适用于以下对象、测试目的和应用条件。
适用产品与技术问题
- 半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
- 薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
- 半导体与光电材料压电、铁电与功能响应的适用试样与测量对象
- 薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应的适用试样与测量对象
- 该文件规定的实施过程为：按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。
- 按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。
- 保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。
委托资料与样品要求
提交标准编号和版本、产品或材料信息、样品状态、判定依据及报告用途。
- 01
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。
- 02
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应、薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应项目的批次试样、测量位置和对照样
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。适用版本、产品要求、现象记录和已有数据用于匹配标准与验证方案。
IEC 62047-30:2017 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film项目列明技术问题、标准版本、样品量、执行条件与结果交付日期。
主要提供保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数、报告给出器件几何、薄膜电极、激励与测量方向、响应曲线和机电参数。其他数据和附件在委托单中列明。
技术问题、适用标准和现有资料对应至检测项目，并完成结果复核。
主要技术要求
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30
半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
测试方法与条件
薄膜、涂层与透明材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30:2017测量MEMS压电薄膜机电转换特性，记录器件结构、激励、电响应和位移。
规定机械或电激励驱动器件
按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。
保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数
保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。
尺寸与表面测量
试样状态、形状、尺寸和数量
测点方向、位置和重复次数
测点方向、位置和重复次数
标准实施要点
应用场景
IEC 62047-30:2017 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film覆盖研发、质量控制、验收、认证支持和争议核查。
标准版本
列明标准编号、年份、修订件、引用文件以及合同或产品规范要求。
对象与样品
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。
确定执行条件
把半导体与光电材料压电、铁电与功能响应按IEC 62047-30、测试方法与条件落实为设备、环境、步骤、参数、质量控制和记录要求。
完成检测与复核
按规定条件实施测试，复核原始数据、计算过程、异常记录和判定依据。
交付结果和说明
提供保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数、报告给出器件几何、薄膜电极、激励与测量方向、响应曲线和机电参数、标准版本、测试条件和相关记录。
版本与关联标准
IEC 62047-30:2017《Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film》由国际电工委员会发布。
标准编号：IEC 62047-30:2017；标准名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film；发布机构：国际电工委员会。
国际电工委员会报告与交付内容
报告列明实际样品、检测方法、测试条件、结果和约定附件。
报告同步提供质量控制、数据复核和判定依据等项目记录。
样品、批次、工况或标准发生变化时，按新条件开展补充检测。
报告支持CMA/CNAS标识、合格判定及英文版本，相关要求可在需求表中注明。标准应用常见问题
01IEC 62047-30:2017适用于哪些测量对象？
该文件规定的实施过程为：按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。 MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。
02IEC 62047-30:2017如何准备试样和设备？
MEMS压电薄膜器件记录薄膜材料、厚度、梁或膜结构、电极和测量方向。 机电转换系统记录激励电源、力或位移检测、振动测量、电荷电压采集和显微定位。
03IEC 62047-30:2017怎样实施测量和处理数据？
按规定机械或电激励驱动器件，同步采集输入与输出响应并确定转换特性。 保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。
04IEC 62047-30:2017报告包含哪些内容？
报告给出器件几何、薄膜电极、激励与测量方向、响应曲线和机电参数。 保留激励频率幅值、力与位移、电荷电压、相位和转换系数。