本页说明
GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由全国标准信息公共服务平台发布，适用于薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。
适用对象与条件
- GB/T 36053-2018用于薄膜厚度、密度与粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- GB/T 36053-2018用于多层膜结构与界面粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- GB/T 36053-2018用于晶圆与外延层XRR测量的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- GB/T 36053-2018用于XRR拟合与模型不确定度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
- 薄膜厚度、密度与粗糙度的标准方法实施与数据记录
- 多层膜结构与界面粗糙度的标准方法实施与数据记录
- 晶圆与外延层XRR测量的标准方法实施与数据记录
- XRR拟合与模型不确定度的标准方法实施与数据记录
主要要求与方法
结果与交付要求
GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数
取样与样品处理
登记样品、制样过程、仪器型号、测量程序和实际采集参数
质量控制
关联校准核查、标准样或对照样、原始图谱、图像、曲线及计算过程
补充质量控制
按GB/T 36053-2018整理质量控制、重复结果、数据处理过程和报告记录
方法、条件与注意事项
标准概况
GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由全国标准信息公共服务平台发布，适用于薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度，标准关系覆盖样品信息、仪器条件、数据处理和结果记录。
技术应用
- GB/T 36053-2018用于薄膜厚度、密度与粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - GB/T 36053-2018用于多层膜结构与界面粗糙度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - GB/T 36053-2018用于晶圆与外延层XRR测量的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。 - GB/T 36053-2018用于XRR拟合与模型不确定度的薄膜厚度、密度、界面宽度测量及XRR数据分析和报告。
相关仪器项目
GB/T 36053-2018关联以下仪器测试项目： - [薄膜厚度、密度与粗糙度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/thin-film-thickness-density-and-roughness) - [多层膜结构与界面粗糙度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/multilayer-structure-and-interface-roughness) - [晶圆与外延层XRR测量](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/wafer-and-epitaxial-layer-xrr) - [XRR拟合与模型不确定度](/services/instrument-testing/phase-crystal/x-ray-reflectometry-xrr/xrr-fitting-and-model-uncertainty)
方法实施与原始记录
薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度按GB/T 36053-2018记录样品与制样信息、仪器型号、测量程序、实际采集参数、校准核查、原始数据和计算结果。
样品与项目信息
提交样品名称、材质或组成、型号、批次、数量、取样位置和报告用途；标明GB/T 36053-2018项目的待测参数、样品状态和已有技术资料；按X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告对应对象完成样品包装、标识、保存和运输；将样品编号与批次、取样位置、前处理记录和报告用途逐项对应。样品编号与测量位置、前处理过程、批次和原始记录保持对应。
数据与质量控制
X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告的数据质量控制围绕薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度展开：光谱、图像、曲线或数值结果分别归档，并按GB/T 36053-2018关联仪器状态、校准核查、标准样、平行样、重复结果和项目原始数据。
报告与交付
GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果；样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录；原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论；GB/T 36053-2018项目的数据处理、重复结果和标准应用记录。报告标明GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》、实际仪器项目、样品信息、方法条件和实测结果。
官方来源
全国标准信息公共服务平台发布了GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》，[查看该标准的官方发布记录](https://openstd.samr.gov.cn/bzgk/std/newGbInfo?hcno=900F89C4E7C260551B541FC389EB5588)。
需要结合哪些资料
- GB/T 36053-2018对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置；薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度对应的代表性样品、平行样、对照样和项目资料
参考依据与来源
GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》由全国标准信息公共服务平台发布。
标准编号：GB/T 36053-2018；标准名称：X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告；发布机构：全国标准信息公共服务平台。
全国标准信息公共服务平台结果怎样使用
- GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果
- 样品信息、仪器条件、测量参数和质量控制记录
- 原始光谱、图像、曲线或数值结果及报告结论
- GB/T 36053-2018项目的数据处理、重复结果和标准应用记录
使用结果时需要结合的事项
- 薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度的方法实施记录；X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告对应的研发与质量控制；GB/T 36053-2018项目的批次比较与结果复核
标准使用常见问题
01GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告包括哪些检测内容？
GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告的主要内容包括GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告项目表按样品形态、目标参数和报告用途列出测量项目、测试条件、重复次数、质量控制及数据处理要求。
02GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告需要提供哪些样品和资料？
送样包括GB/T 36053-2018对应的代表性样品、批次样品和指定测量位置，并按批次、状态和取样位置分别编号。 GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告样品清单标明名称、型号、批次、取样位置、数量、状态、保存条件和处理历史，对比项目同时提交正常样、异常样或不同批次样。
03GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告采用什么标准和方法？
主要依据为GB/T 36053-2018，检测方法包括GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》在薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度中按具体对象落实方法步骤和技术参数。 GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告委托确认单记录标准编号、版本、产品规范、样品条件和判定要求，多种方法联合使用时分别记录原始数据和质量控制。
04GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告报告包含哪些内容？
主要交付GB/T 36053-2018《X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告》实施信息与薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度实测结果，内容包含样品、方法、数据和判定依据。 GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告报告列明样品、方法、条件、实测数据、计算结果和判定依据，可用于薄膜厚度、密度与粗糙度、多层膜结构与界面粗糙度、晶圆与外延层XRR测量、XRR拟合与模型不确定度的方法实施记录，图谱、照片、原始数据或英文信息按委托要求附入。