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仪器分析

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS

Glow Discharge Mass Spectrometry (GDMS) — Battery, Electronic & High-purity Materials

电池、电子和高纯材料GDMS面向溅射靶材、导电高纯固体、正负极粉体与电子陶瓷开展全谱痕量杂质分析。块材直接辉光放电,粉体采用低本底导电宿主复合电极;稳定溅射平台、宿主空白、高分辨谱和多位置结果用于纯度与污染分布评价。

检测内容
电子级固体全谱杂质 · 靶材位置化杂质分布
适用对象
导电靶材、高纯铜铝镍钴及硅基材料可直接制片,电池粉体和电子陶瓷使用经本底筛选的导电宿主压成复合电极。 · 测量覆盖碱金属、过渡金属、稀土和难熔元素,关键杂质按照电池体系或电子级材料要求单独汇总。
方法标准
GB/T 33236-2016 · ISO/TS 15338:2025
报告交付
全谱杂质结果包含元素、同位素、质量分数、LOD、LOQ及校正方式。 · 靶材附中心至边缘位置图、各试片结果和溅射时间平台,具备去除率数据时增加深度轴。
确认检测需求登记对象、检测目标和报告用途
样品登记登记数量、状态和制样要求
检查检测过程记录检测条件并审核原始数据
出具报告交付结果、附件和技术说明
01

检测范围

检测范围检测内容与适用对象

电池、电子和高纯材料GDMS面向溅射靶材、导电高纯固体、正负极粉体与电子陶瓷开展全谱痕量杂质分析。块材直接辉光放电,粉体采用低本底导电宿主复合电极;稳定溅射平台、宿主空白、高分辨谱和多位置结果用于纯度与污染分布评价。

01项目内容

电子级固体全谱杂质

输出高纯固体和靶材中金属、稀土及难熔杂质的质量分数、检出限和同位素。

02适用情况

对象与条件

导电靶材、高纯铜铝镍钴及硅基材料可直接制片,电池粉体和电子陶瓷使用经本底筛选的导电宿主压成复合电极。 测量覆盖碱金属、过渡金属、稀土和难熔元素,关键杂质按照电池体系或电子级材料要求单独汇总。 靶材中心、边缘和指定深度取片可比较杂质分布;预溅射曲线用于选择稳定平台,溅射时间与材料去除深度分别记录。 粉体定量包含宿主空白、复合比例、同流程加标或基体参考物料,不把块状靶材RSF直接用于复合电极。 纯度汇总基于已测元素范围、检出限和杂质总量,逐元素数据保留在主表。

03结果解释

需要注意的限制

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件;整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行 电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果报告对应本次取样、制样和分析份;整体成分、表面成分、局部微区、筛查和定量结果分别按相应方法评价。 电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果对应实际收到的样品、采用的辉光放电质谱 GDMS条件和数据处理方法;样品或参数改变后按新条件复核可比性 仪器测试交付测量数据和技术说明;整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施

技术说明

检测时需要注意什么

实施流程

1. 按块材直测或粉体复合电极路线建立试份,靶材取样位置和粉体宿主比例录入任务表;2. 试片无污染加工并清洗,粉末完成混合压片;离子源、夹具和压模按高纯材料程序清洁;3. 辉光放电预溅射至稳定后采集质量谱,目标同位素使用适当分辨率,参考样和空白穿插测量;4. 计算逐元素质量分数、位置差异、杂质总量和纯度,审核低端本底、平行片与多放电点

靶材时间与深度

GDMS连续溅射首先给出离子信号随时间的变化;使用同材料溅射率或测量溅射坑深度后,可把时间轴换算为近似去除深度。

粉体与块材校准

块状导电材料采用相应基体RSF,粉体复合电极依据宿主空白、复合比和同流程校准定量,两条量值路线在报告中分开。

纯度计算透明度

纯度表同时列出实际测量元素、每项检出限、低于检出限的计入规则和已测杂质总量,避免只给单一汇总数字。

02

适用产品与样品

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS适用于以下产品、样品及技术问题。

适用产品和常见问题

  • 导电靶材、高纯铜铝镍钴及硅基材料可直接制片,电池粉体和电子陶瓷使用经本底筛选的导电宿主压成复合电极。
  • 测量覆盖碱金属、过渡金属、稀土和难熔元素,关键杂质按照电池体系或电子级材料要求单独汇总。
  • 靶材中心、边缘和指定深度取片可比较杂质分布;预溅射曲线用于选择稳定平台,溅射时间与材料去除深度分别记录。
  • 粉体定量包含宿主空白、复合比例、同流程加标或基体参考物料,不把块状靶材RSF直接用于复合电极。
  • 纯度汇总基于已测元素范围、检出限和杂质总量,逐元素数据保留在主表。
03

送样前需要准备什么

送样信息包括材质、形态、批次、保存条件、目标参数及制样要求。

  1. 01

    靶材按位置图切取平整试片,记录径向位置、表面到取样层的加工深度和母材方向,清洗后独立洁净包装。

  2. 02

    导电高纯固体去除表面氧化和加工液,研磨工具的材质不含重点杂质,每个试片保留新鲜放电面。

  3. 03

    正负极粉体在干燥条件下混匀,与高纯宿主按固定比例复合压片,压模和混料器具设置接触空白。

  4. 04

    每批配置同基体参考样、高纯宿主空白、独立制样平行和多位置试片,样品编号连接供应批与生产工序。

准备资料样品和资料要求

靶材按位置图切取平整试片,记录径向位置、表面到取样层的加工深度和母材方向,清洗后独立洁净包装。 导电高纯固体去除表面氧化和加工液,研磨工具的材质不含重点杂质,每个试片保留新鲜放电面。 正负极粉体在干燥条件下混匀,与高纯宿主按固定比例复合压片,压模和混料器具设置接触空白。 每批配置同基体参考样、高纯宿主空白、独立制样平行和多位置试片,样品编号连接供应批与生产工序。

项目结果本页列出的结果内容

全谱杂质结果包含元素、同位素、质量分数、LOD、LOQ及校正方式。 靶材附中心至边缘位置图、各试片结果和溅射时间平台,具备去除率数据时增加深度轴。 粉体附件记录宿主批次、复合比例、宿主本底、独立压片及回收结果。 纯度页提供已测杂质总量、计算口径和洁净制样交叉污染检查。

04

检测项目

01

电子级固体全谱杂质

输出高纯固体和靶材中金属、稀土及难熔杂质的质量分数、检出限和同位素。

02

靶材位置化杂质分布

中心、边缘和指定加工深度的独立试片分别测量,形成位置图与关键杂质差值。

03

电池粉体宿主扣除

复合电极结果扣除导电宿主空白并按样品宿主质量比换算回原始粉体。

04

预溅射平台与去除速率

记录离子信号随溅射时间的稳定过程,另用材料去除率或轮廓测量建立时间到深度的关系。

05

杂质总量与纯度汇总

在列明覆盖元素和低于检出限的处理方式后汇总已测杂质,并形成纯度计算表。

06

洁净制样交叉污染

通过工具空白、宿主空白和高纯参考样观察切割、研磨、混粉及压片环节的元素带入。

05

检测方法和流程

受理前需要确认什么受理前需确认对象、样品状态、方法适用性和实施条件;具体检测范围、进度与报告要求以双方确认的方案为准。
01

步骤1

按块材直测或粉体复合电极路线建立试份,靶材取样位置和粉体宿主比例录入任务表。

02

步骤2

试片无污染加工并清洗,粉末完成混合压片;离子源、夹具和压模按高纯材料程序清洁。

03

步骤3

辉光放电预溅射至稳定后采集质量谱,目标同位素使用适当分辨率,参考样和空白穿插测量。

04

步骤4

计算逐元素质量分数、位置差异、杂质总量和纯度,审核低端本底、平行片与多放电点。

06

检测标准和方法

以下是本页引用的标准与方法资料。具体项目是否适用、采用哪个版本及如何判定,需结合对象、条件和委托要求确认。

2 项标准共列出 2 项标准与方法。

共 2 项

GB/T 33236-2016中国标准多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法适用于电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS涉及的对应材料或样品检测。国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 · GB/T 33236-2016 · 查看发布机构来源
ISO/TS 15338:2025国际标准Surface chemical analysis — Glow discharge mass spectrometry — Operating proceduresSurface chemical analysis - Glow discharge mass spectrometry - Operating procedures规定电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS的分析方法、仪器条件和数据记录要求。International Organization for Standardization · ISO/TS 15338:2025 · 查看发布机构来源
07

报告和检测数据

全谱杂质结果包含元素、同位素、质量分数、LOD、LOQ及校正方式。
靶材附中心至边缘位置图、各试片结果和溅射时间平台,具备去除率数据时增加深度轴。
粉体附件记录宿主批次、复合比例、宿主本底、独立压片及回收结果。
纯度页提供已测杂质总量、计算口径和洁净制样交叉污染检查。
常见报告用途
靶材制造可依据位置化杂质谱评价熔炼均匀性、加工层污染和不同供应批稳定性。电池粉体与电子陶瓷的痕量元素结果支持原料验收、设备接触污染追踪和纯度分级。高纯固体的逐元素清单与纯度汇总可用于供应商技术协议和放行记录。
检测结果说明

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果报告对应实际样品、测点、量程和测量条件;整批评价按照约定取样方案、对照设置和判定依据执行

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果报告对应本次取样、制样和分析份;整体成分、表面成分、局部微区、筛查和定量结果分别按相应方法评价。

电池、电子与高纯材料辉光放电质谱 GDMS结果对应实际收到的样品、采用的辉光放电质谱 GDMS条件和数据处理方法;样品或参数改变后按新条件复核可比性

仪器测试交付测量数据和技术说明;整批质量判定、产品认证、法定鉴定和监管事项按照相应程序实施

08

常见问题

0178.1 靶材不同位置为什么要分别取片?

中心、边缘和不同加工层可能经历不同凝固与加工过程,独立试片能把杂质差异对应到明确位置。

0278.2 溅射时间可以直接当作深度吗?

时间先表示材料去除过程,结合该材料的溅射率或实际测得的溅射坑深度后,才形成可量化的深度坐标。

0378.3 电池粉体怎样做成GDMS试样?

粉体与高纯导电宿主按固定质量比充分混合并压片,宿主空白和同流程校准用于还原原粉杂质含量。

0478.4 高纯靶材为何仍要测工具空白?

切割、研磨和夹持材料可能带入Fe、Cr、Ni或Cu,工具接触空白可区分加工污染与靶材本底。

0578.5 纯度按差减法怎样展示?

报告列出全部已测杂质、检出限和低于检出限的计入规则,再从基准含量中扣除杂质总量形成汇总。

0678.6 低含量峰如何与分子离子区分?

依据准确质量、同位素丰度和候选分子组成设置质量分辨率,并保留高分辨峰形用于判读。

0778.7 粉体复合电极能和块状靶材直接比较吗?

两类样品使用不同校准链,结果统一到质量分数后可比较,但报告分别标明块材RSF与复合电极换算过程。

0878.8 多批高纯材料怎样看趋势?

在相同取样位置、制样路线和低端处理规则下,将关键杂质、杂质总量与空白水平按批次排列即可形成趋势。

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